熊韬
- 作品数：6 被引量：8H指数：2
- 供职机构：华中科技大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：一般工业技术自动化与计算机技术电子电信机械工程更多>>
- 应用于MEMS气密性封装测试的微型湿度传感器的设计与制作
- 2003年
- MEMS器件的封装一直是MEMS技术的难点之一 ,在封装设计中 ,如何测试封装的有效性就显得尤为重要。本文叙述了一种基于MEMS技术的微型湿度传感器的原理、设计以及工艺流程。在其上进行气密性封装 ,则可通过对封装内的湿度测量来判断该封装的气密性能。在设计中 ,充分考虑了尺寸、工艺以及灵敏度等各方面要求。制作采用的是传统的光刻、刻蚀工艺。该湿度传感器结构简单 ,易于制作 。
- 熊韬易新建陈四海陈明祥周少波
- 关键词：MEMS气密性封装光刻刻蚀
- VO<,2>薄膜材料制备及其性能测试
- 二氧化钒是一种具有特殊相变性能的功能材料.随着温度的变化,二氧化钒会发生从半导体态到金属态的可逆变化,同时,电阻率和光谱透射率等物理性质也发生突变,其相变点在68℃附近,接近室温.二氧化钒的应用非常广泛.目前主要用在热探...
- 熊韬
- 关键词：二氧化钒相变反应溅射
- 应用于MEMS气密性封装测试的微型湿度传感器的设计与制作
- MEMS器件的封装一直是MEMS技术的难点之一,在封装设计中,如何测试封装的有效性就显得尤为重要.本文叙述了一种基于MEMS技术的微型湿度传感器的原理、设计以及工艺流程.在其上进行气密性封装,则可通过对封装内的湿度测量来...
- 熊韬易新建陈四海陈明祥周少波
- 关键词：微机电系统气密性封装封装测试封装设计
- 文献传递
- 一种微型二氧化钒光开关
- 本实用新型公开了一种微型二氧化钒光开关，包括衬底、VO<Sub>2</Sub>层和电极，衬底和VO<Sub>2</Sub>层之间设有Si<Sub>3</Sub>N<Sub>4</Sub>材料制成的过渡层，在VO<Sub>...
- 陈四海易新建王宏臣黄光熊韬陈明祥李雄伟柯才军
- 文献传递
- 新型VO_2相变薄膜的制备被引量：6
- 2004年
- 采用离子束溅射和退火工艺制备了一种新的相变型薄膜VO2。此种薄膜的方块电阻为120～148kΩ,电阻-温度关系曲线显示该薄膜的相变温度接近室温。SEM分析表明,所制备的薄膜致密均匀。样品的明场透射电子显微图像显示,制备的薄膜是多晶薄膜,晶粒尺寸达到纳米数量级。XRD分析表明,该薄膜的成分中除了含有VO2外,还含有V2O5,说明该工艺制备的是含有VO2的混合物,而不是纯VO2薄膜。
- 周少波王双保陈四海易新建熊韬
- 关键词：VO2薄膜相变离子束溅射
- 一种微型二氧化钒光开关及其制备方法
- 本发明公开了一种微型二氧化钒光开关，包括衬底、VO<Sub>2</Sub>层和电极，衬底和VO<Sub>2</Sub>层之间设有Si<Sub>3</Sub>N<Sub>4</Sub>材料制成的过渡层，在VO<Sub>2<...
- 陈四海易新建王宏臣黄光熊韬陈明祥李雄伟柯才军
- 文献传递
