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张正元

作品数：1 被引量：2H指数：1
供职机构：西安电子科技大学更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇氧化硅薄膜
  • 1篇针孔
  • 1篇漏电
  • 1篇漏电流
  • 1篇光刻
  • 1篇硅薄膜
  • 1篇二氧化硅薄膜
  • 1篇SIO

机构

  • 1篇西安电子科技...

作者

  • 1篇胡刚毅
  • 1篇郭林
  • 1篇顾瑛
  • 1篇张德胜
  • 1篇张正元
  • 1篇赵策洲

传媒

  • 1篇微电子学

年份

  • 1篇1994
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
SiO_2膜针孔的分析与检测被引量：2
1994年
本文分析了ＳｉＯ＿２膜的针孔模型及漏电机理，讨论了针孔密度的概念，并用ＥＰＷ（乙二胺－邻苯二酚水溶液）法和漏电流法分析了针孔与漏电流的关系，给出了ＳｉＯ＿２膜无明显针孔的判据。
赵策洲张德胜顾瑛胡刚毅郭林张正元
关键词：针孔漏电流光刻二氧化硅薄膜
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共1页<1>
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