严日明 作品数:6 被引量:23 H指数:3 供职机构: 中南大学机电工程学院 更多>> 发文基金: 湖南省自然科学基金 国家自然科学基金 更多>> 相关领域: 金属学及工艺 理学 一般工业技术 机械工程 更多>>
光纤阵列组件超声椭圆振动辅助抛光系统设计 被引量:2 2016年 针对现有化学机械抛光工艺难以满足光纤阵列组件高质量的要求,该文根据压电陶瓷的逆压电效应及超声振动原理,提出了一种夹心式模式转换型超声椭圆振动装置,用以提高光纤阵列组件端面的抛光质量。设计了用于光纤阵列组件超声椭圆振动辅助化学机械抛光的超声振动系统,并对所设计的系统进行了有限元分析和测试试验。试验结果表明,超声振动系统共振频率测试结果与设计结果误差小于5%,超声椭圆振动双向振幅分别为4μm和2μm。 佘亦曦 刘德福 陈涛 严日明关键词:超声换能器 阻抗测试 一种超声振动辅助的光纤阵列端面抛光装置 本发明公开了一种超声振动辅助的光纤阵列端面抛光装置,包括可转动的抛光垫以及置于抛光垫上的抛光夹具,工件(光纤阵列组件)装夹在抛光夹具上,工件待抛光的端面在重力作用下与抛光垫接触,所述抛光垫上通入抛光液;所述抛光夹具通过一... 刘德福 佘亦曦 严日明文献传递 一种超声振动辅助的光纤阵列端面抛光装置 本实用新型公开了一种超声振动辅助的光纤阵列端面抛光装置,包括可转动的抛光垫以及置于抛光垫上的抛光夹具,工件(光纤阵列组件)装夹在抛光夹具上,工件待抛光的端面在重力作用下与抛光垫接触,所述抛光垫上通入抛光液;所述抛光夹具通... 刘德福 佘亦曦 严日明文献传递 光纤阵列的超声椭圆振动辅助化学机械抛光 被引量:8 2016年 为了获得平整的光纤阵列端面,设计了一套超声椭圆振动辅助化学抛光系统,并进行常规化学机械抛光和超声椭圆振动辅助化学机械抛光的对照试验。结果表明,应用超声椭圆振动辅助化学机械抛光技术加工光纤阵列,选择合理的抛光工艺参数,可获得质量较好的光纤阵列端面,相比于常规化学机械抛光技术,光纤的表面粗糙度降低了25%。采用单因素试验法,分别研究了抛光粒子材料及抛光液酸碱性对于超声椭圆振动辅助化学机械抛光的作用效果,并利用Vecco表面轮廓仪对抛光后光纤阵列端面进行观察和分析。采用正交试验法获得了一组超声椭圆振动辅助化学机械抛光光纤阵列的优化工艺参数,最佳工艺参数组为:超声振动频率25 k Hz,抛光液流量35 m L/min,抛光压力50 k Pa,抛光盘转速20 r/min,抛光粒子质量分数0.5%。 陈涛 刘德福 佘亦曦 严日明关键词:光纤阵列 化学机械抛光 表面粗糙度 一种圆锥形变幅杆弯曲振动固有频率的计算方法 被引量:6 2016年 提出了一种圆锥形变幅杆弯曲振动固有频率的计算方法;先忽略剪切变形和惯性矩作用,基于Euler-Bernoulli杆理论求解出固有频率初值,再计入二者的作用进行弯曲振动固有频率的修正。应用有限元分析法和模态实验测试对该方法进行验证,理论结果与实验结果吻合,误差<5%。基于该方法编写程序,实现了弯曲振动变幅杆结构的主动设计。 严日明 刘德福 陈涛 佘亦曦关键词:固有频率 纵弯复合型超声椭圆振动辅助抛光光纤阵列系统设计 被引量:7 2017年 对现有的化学机械抛光工艺难以满足光纤阵列组件高质量和高效率的要求,根据杆件的纵向振动和弯曲振动基本方程,设计了一种纵弯复合超声椭圆振动装置,用于光纤阵列组件的超声椭圆振动辅助化学机械抛光,以提高光纤阵列组件端面的抛光质量和抛光效率。所设计的纵弯复合超声振动系统实现了36kHz下纵向4阶和弯曲13阶的同频超声振动。振幅测试试验结果表明,超声椭圆振动双向振幅分别为3μm和2.5μm,超声椭圆振动辅助化学机械抛光后的光纤端面粗糙度达到27.58nm。 陈涛 刘德福 刘德福 余青关键词:光纤阵列 有限元分析 阻抗测试 化学机械抛光