王庆华
- 作品数:30 被引量:15H指数:2
- 供职机构:清华大学更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划教育部“新世纪优秀人才支持计划”更多>>
- 相关领域:理学一般工业技术自动化与计算机技术化学工程更多>>
- 一种多灵敏度制栅云纹干涉仪
- 一种多灵敏度制栅云纹干涉仪,属于光测力学、变形检测技术领域。本发明由激光器、分光耦合器、干涉光路系统、图像采集系统、加载及六维调节装置五大部分组成。集光栅制作与变形测量为一体,可制作可转移光栅模板,也可在试样表面制作零厚...
- 戴福隆谢惠民王庆华王怀喜
- 文献传递
- 激光扫描共聚焦显微镜云纹测量技术及其新应用
- <正>介绍了一种先进的高倍显微镜云纹测量技术——激光扫描共聚焦显微镜(LSCM)云纹法。在阐述LSCM的工作原理及LSCM云纹的形成和测量原理后,讨论了LSCM云纹法的特点,同时对LSCM云纹法的应用进行了探讨,重点介绍...
- 王庆华谢惠民潘兵岸本哲戴福隆
- 关键词:激光扫描共聚焦显微镜云纹蝴蝶
- 文献传递
- 柔性基底上微纳米薄膜的力学特性研究
- <正>近年来,随着纳米科学技术与柔性电子的兴起和发展,通过离子束沉积法、磁控溅射法、化学气相沉积法等技术手段沉积在柔性基底上的功能性微纳米薄膜迅速成为人们关注的焦点。在生产和服役过程中,薄膜-基底结构常常受到力、电、热等...
- 何巍谢惠民殷雅俊吴丹王庆华李传崴
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- 封面图片说明
- 2009年
- 蝴蝶翅膀以其迷人的彩虹色吸引着各界学者的注意,其颜色由色素色和结构色共同组成,而色彩的变化万千则主要在于结构色,因此对其结构的研究倍受人们关注.蝴蝶翅膀表面覆盖着许多呈屋瓦图案分布的鳞片,鳞片上布满了周期性分布的光子晶体结构.由于传统的高倍显微镜法和散射法只能逐点测量,无法反映较大范围内的结构特征,
- 谢惠民王庆华唐敏锦
- 关键词:封面蝴蝶翅膀显微镜法晶体结构结构特征
- 蝴蝶翅膀表面周期性结构的表征技术研究
- 王庆华
- 关键词:蝴蝶翅膀
- 基于激光共聚焦显微镜的拉压及疲劳加载实验机
- 基于激光共聚焦显微镜的拉压及疲劳加载实验机,本发明提供一种适用于激光共聚焦显微镜平台的加载实验机,该实验机包括固定基板、电机驱动的拉压加载装置、压电陶瓷驱动的疲劳加载装置、力传感器、夹持装置和相移装置等部分。本发明可以实...
- 谢惠民王庆华唐敏锦张建民戴福隆
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- 一种光子晶体表面周期性结构的检测方法
- 一种光子晶体表面周期性结构的检测方法,属于平面结构检测、光测力学技术领域。本发明以激光扫描共聚焦显微镜的扫描线为参考栅,光子晶体表面周期性结构为试件栅,通过使两栅发生干涉形成清晰的LSCM云纹,再通过提取云纹条纹方程,将...
- 谢惠民王庆华岸本哲邢永明戴福隆
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- 一种测量金属互连线力/电耦合作用下表面变形的方法
- 一种测量金属互连线力/电耦合作用下表面变形的方法,属于变形检测、光测力学技术领域。本发明利用离子束刻蚀法或电子束刻蚀法在金属互连线表面制作光栅,通过力/电耦合加载系统进行加载,由光学显微镜及图像采集装置实时拍摄加载前及加...
- 谢惠民王庆华岸本哲戴福隆
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- 基于FIB的微观变形载体制作技术研究及应用被引量:2
- 2013年
- 变形载体包括光栅、散斑和标记点等,是光学变形测量时的重要载体,关系到测试的成败。基于聚焦离子束(FIB)微加工平台和技术,介绍了微观变形载体的设计、制作方法、程序等要点,并且利用FIB刻蚀微型孔、槽等实现材料表面微观残余应力的测量。分析和讨论了FIB制作变形载体对原有结构的影响和由此引起的残余应力测试误差。结果表明,FIB刻蚀作为一种新型的直写微纳米加工技术,结合高倍显微镜对视场的切换,可以在关键微区准确定位,并制作变形载体和实现变形测量,尤其对残余应力的测量特别有效。
- 朱建国李艳杰王庆华谢惠民
- 关键词:聚焦离子束残余应力光测力学
- 微尺度薄膜结构力学行为的光测实验研究
- 王庆华
- 关键词:屈曲行为高温变形