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孙秀宇

作品数：5 被引量：17H指数：2
供职机构：大连交通大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 3篇等离子
  • 3篇等离子体
  • 3篇等离子体源
  • 3篇电感线圈
  • 3篇电感耦合
  • 3篇气体分子
  • 3篇离子能量
  • 3篇分子
  • 2篇等离子体密度
  • 1篇低能量
  • 1篇电荷
  • 1篇电荷补偿
  • 1篇电子发射
  • 1篇电子枪
  • 1篇独立控制
  • 1篇射频
  • 1篇射频电流
  • 1篇光电
  • 1篇光电子
  • 1篇反应气体

机构

  • 5篇大连交通大学

作者

  • 5篇孙秀宇
  • 4篇臧侃
  • 4篇董华军
  • 4篇郭方准
  • 4篇薛冬冬
  • 4篇游燕
  • 4篇侯宾宾
  • 1篇洪宇

传媒

  • 1篇真空电子技术

年份

  • 1篇2018
  • 2篇2016
  • 2篇2015
共 5 条 记 录，以下是 1-5
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排序方式：
一种电感耦合式射频等离子体源
本发明公开了一种电感耦合式射频等离子体源，包括反应气体导入机构、等离子体发生机构、水冷机构、屏蔽机构和支撑连接机构，所述反应气体导入机构、等离子体发生机构、水冷机构和屏蔽机构通过支撑连接机构连接。该装置中的电感线圈在射频...
郭方准孙秀宇侯宾宾薛冬冬游燕臧侃董华军
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低能量电子枪的研发被引量：14
2016年
本文介绍低能量电子发射枪,适合装备在X射线光电子能谱系统上,在进行半导体或其它导电性较差物质的光电子分析时进行样品表面的电子补偿。该电子枪主要由阴极、控制极、阳极和聚焦电极组成,具备电子束发射、电子能量调节和电子束聚焦功能。实验测试证明,该装置发射的电子束能量在0-500eV之间连续可调,电子束密度充足,电子束聚焦效果理想。
薛冬冬孙秀宇游燕侯宾宾洪宇臧侃董华军郭方准
关键词：光电子电荷补偿
一种电感耦合式射频等离子体源
本实用新型公开了一种电感耦合式射频等离子体源，包括反应气体导入机构、等离子体发生机构、水冷机构、屏蔽机构和支撑连接机构，所述反应气体导入机构、等离子体发生机构、水冷机构和屏蔽机构通过支撑连接机构连接。该装置中的电感线圈在...
郭方准孙秀宇侯宾宾薛冬冬游燕臧侃董华军
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射频等离子体源的研发
氮、氧化物已成为当前国际上半导体材料研究与应用的前沿和热点。等离子体辅助分子束外延是氮、氧化物材料生长与研究的重要技术之一,而射频等离子体源是等离子体辅助分子束外延系统中的核心装备。目前,我国用于材料科学研究的射频等离子...
孙秀宇
关键词：射频电感耦合等离子体源
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一种电感耦合式射频等离子体源
本发明公开了一种电感耦合式射频等离子体源，包括反应气体导入机构、等离子体发生机构、水冷机构、屏蔽机构和支撑连接机构，所述反应气体导入机构、等离子体发生机构、水冷机构和屏蔽机构通过支撑连接机构连接。该装置中的电感线圈在射频...
郭方准孙秀宇侯宾宾薛冬冬游燕臧侃董华军
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