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邢鼎
作品数:
12
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供职机构:
西安电子科技大学
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相关领域:
电子电信
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合作作者
贾护军
西安电子科技大学
张航
西安电子科技大学
杨银堂
西安电子科技大学
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电子电信
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场效应
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场效应晶体管
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半导体
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衬底
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4篇
半绝缘
2篇
金属半导体场...
机构
12篇
西安电子科技...
作者
12篇
邢鼎
11篇
张航
11篇
贾护军
6篇
杨银堂
年份
3篇
2018
1篇
2017
8篇
2015
共
12
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一种具有双凹陷缓冲层的4H-SiC金属半导体场效应晶体管
本发明公开了一种具有双凹陷缓冲层的4H-SiC金属半导体场效应晶体管,自下而上包括4H-SiC半绝缘衬底、P型缓冲层、N型沟道层,N型沟道层的两侧分别为源极帽层和漏极帽层,源极帽层和漏极帽层表面分别是源电极和漏电极,沟道...
贾护军
张航
邢鼎
文献传递
4H-SiC金属半导体场效应晶体管及其制作方法
本发明公开了一种4H-SiC金属半导体场效应晶体管及其制作方法。其中,该场效应晶体管包括:4H-碳化硅SiC半绝缘衬底;覆盖在4H-SiC半绝缘衬底上的P型缓冲层;覆盖在P型缓冲层上的N型沟道层;其中,N型沟道层包括第一...
贾护军
邢鼎
张航
文献传递
一种具有三凹陷结构的场效应晶体管及其制备方法
本发明属于场效应晶体管技术领域,特别是公开了一种具有三凹陷结构的场效应晶体管及其制备方法;旨在提供一种具有宽沟道深凹陷且能够提高输出电流和击穿电压,改善频率特性的一种具有三凹陷结构的场效应晶体管及其制备方法;采用的技术方...
贾护军
张航
邢鼎
杨银堂
4H-SiC金属半导体场效应晶体管及其制作方法
本发明公开了一种4H‑SiC金属半导体场效应晶体管及其制作方法。其中,该场效应晶体管包括:4H‑碳化硅SiC半绝缘衬底;覆盖在4H‑SiC半绝缘衬底上的P型缓冲层,其中,P型缓冲层包括第一P型缓冲区、第二P型缓冲区和第三...
贾护军
邢鼎
张航
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一种具有双凹陷缓冲层的4H‑SiC金属半导体场效应晶体管
本发明公开了一种具有双凹陷缓冲层的4H‑SiC金属半导体场效应晶体管,自下而上包括4H‑SiC半绝缘衬底、P型缓冲层、N型沟道层,N型沟道层的两侧分别为源极帽层和漏极帽层,源极帽层和漏极帽层表面分别是源电极和漏电极,沟道...
贾护军
张航
邢鼎
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具有Γ栅和凹陷缓冲层的场效应晶体管及其制备方法
本发明属于场效应晶体管技术领域,旨在提供一种具有宽沟道深凹陷且能够提高输出电流和击穿电压,改善频率特性的具有Γ栅和凹陷缓冲层的场效应晶体管及其制备方法;采用的技术方案为:自上而下设置有4H‑SiC半绝缘衬底、P型缓冲层、...
贾护军
张航
邢鼎
杨银堂
文献传递
具有Γ栅和凹陷缓冲层的场效应晶体管及其制备方法
本发明属于场效应晶体管技术领域,旨在提供一种具有宽沟道深凹陷且能够提高输出电流和击穿电压,改善频率特性的具有Γ栅和凹陷缓冲层的场效应晶体管及其制备方法;采用的技术方案为:自上而下设置有4H-SiC半绝缘衬底、P型缓冲层、...
贾护军
张航
邢鼎
杨银堂
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具有新型栅结构的4H-SiC MESFETs设计及仿真
4H-SiC场效应晶体管(4H-SiC MESFET)是下一代微波功率器件的理想选择,在微波频段以及高功率输出的半导体器件应用中,4H-SiC MESFET展示出极大的应用价值,在功率器件中极具潜力和竞争力。然而,增加S...
邢鼎
关键词:
碳化硅
场效应晶体管
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4H-SiC金属半导体场效应晶体管及其制作方法
本发明公开了一种4H-SiC金属半导体场效应晶体管及其制作方法。其中,该场效应晶体管包括:4H-碳化硅SiC半绝缘衬底;覆盖在4H-SiC半绝缘衬底上的P型缓冲层,其中,P型缓冲层包括第一P型缓冲区、第二P型缓冲区和第三...
贾护军
邢鼎
张航
文献传递
一种具有宽沟道深凹陷金属半导体场效应管的制备方法
本发明属于场效应晶体管技术领域,特别是公开一种具有宽沟道深凹陷金属半导体场效应管的制备方法;解决了现有技术存在的问题,旨在提供一种制作工艺简单且能够提高输出电流和击穿电压,改善频率特性的一种具有宽沟道深凹陷金属半导体场效...
贾护军
张航
邢鼎
杨银堂
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