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孟强
作品数:
3
被引量:1
H指数:1
供职机构:
吉林大学材料科学与工程学院超硬材料国家重点实验室
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相关领域:
电子电信
理学
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合作作者
顾长志
吉林大学材料科学与工程学院超硬...
蒋红
中国科学院长春物理所
荆海
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宁永强
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元光
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顾长志
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金曾孙
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3篇
1997
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利用CVD方法制备金刚石冷阴极的研究
利用化学腐蚀方法制备硅微尖阵列,利用 MW-PCVD 工艺生长金刚石膜,利用扫描电镜 (SEM),X 射线衍射初步研究了金刚石膜的性质。表明微尖尖端具有成核优势,金刚石膜择优沿〈111〉方向生长。
元光
金亿鑫
金长春
张宝林
蒋红
周天明
宁永强
荆海
朱希玲
顾长志
孟强
关键词:
冷阴极
文献传递
CMOS/SOD电路的高温工作特性
1997年
采用具有高导热、高绝缘等优异物理性能的金刚石膜作为绝缘理层,利用金刚石膜上的薄层硅(SOD)技术,制作了54HCTO3CMOS/SOD结构的集成电路.对该电路高温下的工作特性进行了研究.结果表明SOD电路在350℃下仍具有正常的逻辑功能,其工作温度明显高于体硅电路。
顾长志
金曾孙
孟强
邹广田
陆剑侠
苏秀娣
许仲德
姚达
王怀荣
关键词:
金刚石膜
IC
利用 CVD 方法制备金刚石冷阴极的研究
被引量:1
1997年
利用化学腐蚀方法制备硅微尖阵列,利用MW-PCVD工艺生长金刚石膜,利用扫描电镜(SEM),X射线衍射初步研究了金刚石膜的性质。表明微尖尖端具有成核优势,金刚石膜择优沿〈111〉方向生长。
元光
金亿鑫
金长春
张宝林
蒋红
周天明
宁永强
荆海
朱希玲
顾长志
孟强
关键词:
金刚石膜
冷阴极
CVD法
半导体薄膜技术
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