樊华
- 作品数:2 被引量:4H指数:2
- 供职机构:中国科学院上海技术物理研究所更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金国家科技重大专项更多>>
- 相关领域:理学自然科学总论更多>>
- 唯一性检测在椭圆偏振光谱薄膜拟合中的应用(英文)被引量:2
- 2015年
- 利用椭圆偏振光谱进行薄膜样品的测量数据分析拟合时,薄膜厚度与介电常数通常具有一定的关联性.不同色散模型的选取也会对拟合结果产生明显的影响,引起较大误差.介绍了唯一性检测在椭偏拟合中的实现方法.并以二氧化钛样品为例,利用唯一性检测对比了不同色散模型、不同厚度、不同测量波段、不同入射角度时的唯一性检测结果.结果表明,唯一性检测能够有效标定出椭偏测量和拟合过程中所产生的误差,同时能够对不同色散模型进行量化对比,提升拟合精度.
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- 关键词:椭圆偏振光谱二氧化钛
- 碲镉汞红外探测器增透结构设计被引量:2
- 2017年
- 针对工作在涵盖甚长波段的碲镉汞红外探测器,设计较薄的光学膜层或光学结构实现反射率低于10%的减反效果,分为减反膜系和类光子晶体两种设计。基于光学薄膜理论设计并分别用两种算法优化得到了3层和4层ZnS/YbF_3增透膜。经过模拟计算,设计的减反膜在8~16μm的宽光谱波段范围内能大幅度减少红外探测器表面的反射,平均反射率低于5%,并且在0°~60°入射角范围内都具有明显的减反效果。另外,通过类光子晶体的周期性纳米柱结构设计,得到了在14~16μm波段平均反射率低于5%的设计方案。两种方案提供了不同思路的甚长波减反设计,减反膜系相对简单廉价,易于大规模生产;类光子晶体设计,生产技术要求较高,但性质更加稳定可靠。
- 郑华樊华王子仪魏彦锋张荣君
- 关键词:减反膜反射率