黄宏伟
- 作品数：16 被引量：11H指数：2
- 供职机构：武汉工程大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学化学工程一般工业技术经济管理更多>>
- CVD单晶金刚石的二维扩大方法
- 本发明涉及单晶金刚石材料的制造方法。一种CVD单晶金刚石的二维扩大方法，其特征在于包括如下步骤：a.选将单晶金刚石籽晶置于中心开有孔的衬底托之内，使得单晶金刚石籽晶暴露；衬底托由金属钼做成；b.将带有单晶金刚石籽晶的衬底...
- 马志斌吴超黄宏伟张田田宋修曦
- 文献传递
- 一种水凝胶-PTFE复合透气膜及其制备方法
- 本发明涉及一种水凝胶‑PTFE复合透气膜及其制备方法，所述复合膜由PTFE膜的上表面依次复合碳纳米管层和聚丙烯酰胺水凝胶层得到。所述PTFE膜孔径为0.2‑0.3μm，厚度为0.1‑0.2mm，碳纳米管层厚度为0.01‑...
- 刘鹏黄璐陈林根周祖伟陈奡飞谢心怡黄宏伟杜元开
- 双侧波导同轴线耦合式线形微波等离子体源的研究
- 2017年
- 本文介绍了一种具有双侧波导同轴线耦合结构的新型微波等离子体源。通过电磁场模拟计算和等离子体发射光谱测量对同轴线耦合反应腔内部结构进行了优化,研究了线形等离子体源腔体结构对等离子体均匀性和长度的影响,并且在杆状样品表面进行了金刚石薄膜的沉积实验。实验结果表明:双侧波导同轴线耦合式新型线形等离子体源可以在引导天线表面产生圆柱状的线形等离子体,其等离子体的均匀性和长度受腔体内部结构的影响,在引导天线外径为4 mm,单侧模式匹配棒伸入量为10 mm的腔体结构下,等离子体的均匀性大于90%。通过对杆状样品表面不同位置处金刚石膜质量和等离子体沉积环境的测量,进一步验证了等离子体的均匀性。此外,线形等离子体的长度受引导天线长度和工作气压影响,这主要与反应腔内电磁场分布以及微波传输衰减有关。
- 张田田马志斌黄宏伟王传新付秋明汪建华
- 关键词：电磁场金刚石薄膜
- MPCVD生长单晶金刚石及发射光谱分析被引量：4
- 2015年
- 在微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)生长单晶金刚石过程中,测量了近衬底附近等离子体发射光谱(OES),研究了甲烷浓度对等离子体中基团谱峰强度的影响,分析了等离子体中基团谱峰相对强度与金刚石生长速率、质量的关系。利用激光拉曼光谱(Raman)和扫描电镜(SEM)对生长之后的单晶金刚石进行表征。结果表明:随着甲烷浓度的提高,Hα基团谱峰几乎不变,C2、Hβ、Hγ和CH基团谱峰强度均增加,而C2基团增加显著。同时,基团谱峰相对强度比值I(Hγ)/I(Hβ)、I(C2)/I(CH)和I(C2)/I(Hα)也都随着甲烷浓度的提高而增加。I(C2)/I(CH)比值的升高不利于单晶金刚石的生长。生长速率测试表明,单晶金刚石的生长速率随I(C2)/I(Hα)比值的增大而增加,当I(C2)/I(Hα)小于0.35时,生长速率呈现指数快速增加,超过这个值之后,增长趋势变缓,生长速率呈线性增加。
- 吴超马志斌高攀黄宏伟付秋明王传新
- 关键词：微波等离子体化学气相沉积单晶金刚石发射光谱
- MPCVD中双基片结构对等离子体的影响研究被引量：2
- 2017年
- 在传统的波导耦合微波等离子体化学气相沉积装置中引入双基片结构,测量了金刚石沉积过程中的等离子体发射光谱,通过与单基片结构对比,比较研究了双基片对微波等离子体参数的影响。研究表明:在相同金刚石沉积参数下,双基片结构相比于单基片结构下等离子体基团强度更高。其中H_α基团强度远高于单基片台下H_α基团强度;随着甲烷浓度的增加,双基片结构下C_2基团强度上升更加显著,且在相同条件下,双基片结构下C_2与H_α的比值更小,有利于提高金刚石膜的质量。此外,双基片结构下等离子体电子温度较低且随气压的上升而进一步降低。
- 丁康俊马志斌黄宏伟宋修曦任昱霖
- 关键词：化学气相沉积发射光谱金刚石膜
- 基于波导耦合反应腔串联的线形微波等离子体源被引量：1
- 2016年
- 通过将两个波导耦合反应腔串联,得到了具有线形结构的微波等离子体源。利用光纤光谱仪沿等离子体轴向测量不同位置的等离子体发射光谱,对等离子体中不同基团的发射光谱强度进行了比较分析,研究了反应腔结构对等离子体均匀性的影响。实验结果表明:通过将波导耦合反应腔串联可以在引导天线表面产生圆柱状的线形等离子体,等离子体沿轴向的均匀性与引导天线外径尺寸和两端的模式转换棒的位置有关,当引导天线外径为4 mm,模式匹配棒伸入量为10 mm时,等离子体的不均匀性小于10%。
- 张田田马志斌黄宏伟王传新付秋明汪建华
- 关键词：等离子体诊断均匀性
- 一种基于吸湿性水凝胶空气取水的光催化水蒸气制氢装置
- 本发明涉及一种基于吸湿性水凝胶空气取水的光催化水蒸气制氢装置，属于光催化制氢领域。包括：气体收集机构、界面催化反应机构、空气取水机构、密封机构和排气抽样机构，所述界面催化反应机构和所述空气取水机构均设置在所述气体收集机构...
- 黄璐刘鹏陈林根桂承祥黄宏伟范琨章宇涛任葶葶余颖妮戈延林郑小涛
- 杆状氧化铍表面金刚石薄膜的生长
- 2015年
- 利用一种新型线形微波等离子体源以甲烷和氢气为反应气体在135 mm×1 mm×0.5 mm杆状氧化铍表面沉积金刚石膜。研究了氧化铍基底预处理对金刚石形核密度和膜的连续性,以及基底温度对金刚石质量的影响。通过扫描电镜、拉曼光谱对沉积的金刚石膜表面形貌以及质量进行表征。实验结果表明:600#砂纸与金刚石粉混合预处理可以大大提高氧化铍表面金刚石的形核密度,得到连续性较好的金刚石薄膜;同时,基底温度不仅影响着金刚石膜的表面形貌,也影响着金刚石膜的质量。基底温度较低时,金刚石膜在沉积过程中二次形核增强,非金刚石相含量较高;提高沉积温度后,等离子体中H原子浓度增加,有利于金刚石质量的提高。
- 张田田李国伟王传新付秋明黄宏伟马志斌
- 关键词：化学气相沉积金刚石膜氧化铍
- (111)晶面同质外延生长单晶金刚石的研究被引量：2
- 2016年
- 利用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法,在天然金刚石衬底的(111)晶面上同质外延生长单晶金刚石,研究了沉积温度、CH_4浓度以及小角度偏离(111)晶面的衬底对金刚石生长的影响。采用SEM和Raman对外延生长的金刚石进行表征,结果表明:高沉积温度、高CH_4浓度条件下,金刚石呈现出无序的多晶生长现象,随着沉积温度的降低,形貌和质量明显提高,在低沉积温度条件下金刚石表现出一致的单晶生长,但是表面形貌较为粗糙。进一步降低CH_4浓度可外延生长质量高、表面平整的单晶金刚石,速率达4.7μm/h.使用倾斜抛光方法将部分衬底面偏离(111)晶面约6°,对比实验发现,微小偏离(111)晶面的斜面衬底在高沉积温度、高CH_4浓度条件下也能生长出质量较好的单晶金刚石,生长速率明显提高,达到了9μm/h。
- 吴超马志斌高攀黄宏伟宋修曦付秋明王传新
- 关键词：单晶金刚石化学气相沉积
- 一种利用吸湿性材料与多孔体结合的大气补水光解水产氢方法及装置
- 本发明涉及一种利用吸湿性材料与多孔体结合的大气补水光解水产氢方法及装置，涉及水解产氢技术领域，一方面，本发明提供的方法包括如下步骤：制备负载光催化剂多孔体；将负载光催化剂多孔体设置于热敏解吸附型吸湿性材料的上表面后，得到...
- 刘鹏黄璐陈林根桂承祥秦成龙黄宏伟范琨章宇涛刘文静韦庆蛟任葶葶余颖妮戈延林
