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左勇刚

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院大学材料科学与光电技术学院更多>>
发文基金：中国科学院“百人计划”国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇等离子体化学...
  • 1篇射频
  • 1篇气相沉积
  • 1篇金刚石
  • 1篇化学气相
  • 1篇化学气相沉积
  • 1篇刚石
  • 1篇NI
  • 1篇N掺杂
  • 1篇掺杂

机构

  • 1篇北京科技大学
  • 1篇中国科学院大...

作者

  • 1篇石彦超
  • 1篇陈广超
  • 1篇李彬
  • 1篇刘浩
  • 1篇李佳君
  • 1篇左勇刚
  • 1篇白旸

传媒

  • 1篇人工晶体学报

年份

  • 1篇2015
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
金刚石的射频喷射等离子体化学气相沉积及其Ni-N掺杂的研究
2015年
对自行设计的RF喷射等离子体增强化学气相沉积系统(RF plasma jet CVD)进行了电子温度和电子密度的模拟计算分析。在优化的参数下进行了金刚石膜体的制备,并应用光发射谱技术(OES)在线分析了等离子体的成分。通过Raman、XRD和SEM分析了沉积样品的成分、晶体结构和形貌。通过在反应气体中加入NH3,并利用载气技术将含有Ni元素的金属有机物引入到沉积区,进行了Ni、N共掺杂沉积。利用XPS以及PL谱分析了掺杂样品的化学价键和光致发光特性,结果发现Ni-N价键的存在以及在800 nm附近的光发射峰。
石彦超李彬李佳君左勇刚白旸刘浩孙占峰马殿理陈广超
关键词：化学气相沉积金刚石
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