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李晴云

作品数：6 被引量：0H指数：0
供职机构：东南大学更多>>
相关领域：机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 5篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇机械工程

主题

  • 6篇谐振式加速度...
  • 6篇加速度
  • 6篇加速度计
  • 6篇硅
  • 5篇谐振
  • 5篇分体式
  • 4篇双轴
  • 4篇谐振式
  • 4篇差分
  • 2篇玻璃基
  • 1篇微机械
  • 1篇硅微机械
  • 1篇差分结构

机构

  • 6篇东南大学

作者

  • 6篇李晴云
  • 5篇李宏生
  • 5篇高阳
  • 5篇黄丽斌
  • 3篇郭海鹏
  • 2篇赵立业

年份

  • 1篇2016
  • 5篇2015
共 6 条 记 录，以下是 1-6
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排序方式：
一种双轴分体式差分硅微谐振式加速度计
本实用新型公开了一种双轴分体式差分硅微谐振式加速度计，包括上层硅微机械结构和下层玻璃基座，上层硅微机械结构键合在玻璃基座上。其中上层硅微机械结构由四部分完全相同的上层硅微机械子结构组成，其中左侧上下两部分结构形成一组差分...
黄丽斌高阳郭海鹏李晴云李宏生
双轴硅微谐振式加速度计结构设计
硅微谐振式加速度计将被测加速度信号转换为谐振器频率的变化，直接输出准数字信号，具有很高的灵敏度和分辨率，是一种具有潜在高精度特性的微型加速度计。双轴硅微谐振式加速度计能够同时测量X、Y两个方向的加速度，实现加速度矢量的测...
李晴云
关键词：加速度计
一种分体式差分硅微谐振式加速度计
本发明公开了一种分体式差分硅微谐振式加速度计，包括玻璃基底、引线层、键合层和硅结构层。其中硅结构层由上下完全对称的两部分结构组成，每部分结构包括质量块、谐振器、杠杆放大机构、支撑梁、锚区等部分；上下两部分结构仅在中间共用...
黄丽斌李晴云李宏生高阳赵立业
一种双轴分体式差分硅微谐振式加速度计
本发明公开了一种双轴分体式差分硅微谐振式加速度计，包括上层硅微机械结构和下层玻璃基座，上层硅微机械结构键合在玻璃基座上。其中上层硅微机械结构由四部分完全相同的上层硅微机械子结构组成，其中左侧上下两部分结构形成一组差分结构...
黄丽斌高阳郭海鹏李晴云李宏生
一种双轴分体式差分硅微谐振式加速度计
本发明公开了一种双轴分体式差分硅微谐振式加速度计，包括上层硅微机械结构和下层玻璃基座，上层硅微机械结构键合在玻璃基座上。其中上层硅微机械结构由四部分完全相同的上层硅微机械子结构组成，其中左侧上下两部分结构形成一组差分结构...
黄丽斌高阳郭海鹏李晴云李宏生
一种分体式差分硅微谐振式加速度计
本实用新型公开了一种分体式差分硅微谐振式加速度计，包括玻璃基底、引线层、键合层和硅结构层。其中硅结构层由上下完全对称的两部分结构组成，每部分结构包括质量块、谐振器、杠杆放大机构、支撑梁、锚区等部分；上下两部分结构仅在中间...
黄丽斌李晴云李宏生高阳赵立业
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