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李巍
作品数:
29
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供职机构:
中国科学院半导体研究所
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相关领域:
电子电信
经济管理
文化科学
电气工程
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合作作者
王晓亮
中国科学院半导体研究所
肖红领
中国科学院半导体研究所
姜丽娟
中国科学院半导体研究所
冯春
中国科学院半导体研究所
王权
中国科学院半导体研究所
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作者
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李巍
25篇
姜丽娟
25篇
肖红领
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王晓亮
20篇
冯春
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王权
5篇
刘宏新
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殷海波
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王翠梅
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6篇
2022
8篇
2020
2篇
2019
3篇
2018
3篇
2017
4篇
2015
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晶圆的室温等静压金属键合方法
本公开提供一种晶圆的室温等静压金属键合方法,包括:步骤S1:清洗待键合晶圆,去除晶圆表面杂质;步骤S2:在清洗干净的晶圆表面沉积金属中间层;步骤S3:将分别完成金属中间层沉积的两晶圆正面对准贴合,固定后装入模具内,采用真...
王晓亮
郭芬
肖红领
王权
姜丽娟
冯春
王茜
李巍
刘宏新
氮化铟沟道层氮化镓基高电子迁移率晶体管结构
本发明公开了一种氮化铟沟道层氮化镓基高电子迁移率晶体管结构结构,包括:一衬底;一成核层,该成核层制作在所述衬底上,该成核层的厚度为0.01-0.60 μm;一缓冲层,该缓冲层制作在所述成核层上面;一氮化铟沟道层,该氮化铟...
王晓亮
李巍
李百泉
肖红领
殷海波
冯春
姜丽娟
邱爱芹
王翠梅
介芳
文献传递
可调节的感应线圈装置
本发明公开了一种可调节的感应线圈装置,包括:N匝感应线圈,N为正整数;陶瓷盘,与感应线圈所在平面平行设置;螺栓和螺母,用于连接并固定N匝感应线圈和陶瓷盘,通过螺栓和螺母的配合使得各匝感应线圈沿着垂直于线圈平面方向上的高度...
王晓亮
冯春
王权
姜丽娟
肖红领
李巍
文献传递
一种改善GaN异质结器件的栅极刻蚀损伤的结构和工艺方法
本公开提供一种改善GaN异质结器件的栅极刻蚀损伤的结构和工艺方法,包括:在衬底表面依次制备叠设的氮化镓缓冲层和势垒层;在势垒层表面制备源电极和漏电极;在势垒层表面、源电极表面和漏电极表面制备第一钝化层;在第一钝化层表面制...
王晓亮
秦彦斌
肖红领
冯春
姜丽娟
李巍
王茜
徐健凯
一种基于电磁感应的加热装置
本发明提供了一种基于电磁感应的加热装置。利用在托盘周围放置导磁体,使托盘附近集中了绝大部分的磁力线,从而加热温度更高、加热速度更快;利用托盘中磁力线分布均匀,使温度均匀性更好;利用导磁体能够聚集磁力线、引导磁力线方向、减...
王晓亮
梅书哲
王权
殷海波
姜丽娟
肖红领
李巍
功率放大器
本公开提供一种功率放大器,包括:晶体管,包括第一电极和第二电极,用于对输入信号进行功率放大;输入匹配电路,分别与信号源和第一电极相连接,用于将晶体管的输入阻抗与信号源的输出阻抗相匹配;栅极偏置电路,分别与第一电源和第一电...
李巍
王晓亮
王茜
徐健凯
贺腾
冯春
肖红领
姜丽娟
旋转托盘固定装置
本发明公开了一种旋转托盘固定装置,包括:旋转轴;支撑爪,固定于旋转轴上,包含一轴心体和n个爪臂,n≥3;各个爪臂与轴心体相接,且末端设有一凸台,该凸台使得待放置的托盘置于该支撑爪内实现托盘平面方向上的限位,在各个爪臂末端...
王晓亮
姜丽娟
王权
徐健凯
冯春
肖红领
李巍
加热托盘的固定控制装置及其设备
本发明公开了一种加热托盘的固定控制装置及其设备。其中,加热托盘的固定控制装置包括:旋转轴;螺旋加热丝,设置于旋转轴外围,与旋转轴之间存在间隔;托盘,位于旋转轴正上方;以及铁磁体,固定于托盘内,位于托盘中央区域。通过在旋转...
王晓亮
梅书哲
肖红领
王权
殷海波
李巍
姜丽娟
一种超宽带功率放大器
本公开提供一种超宽带功率放大器,包括:晶体管M1,源极接地,栅极作为输入端,漏极作为输出端;输入匹配电路,接收射频输入信号,用于将功率放大器的输入阻抗与射频源的输出阻抗匹配;栅极偏置电路,用于对晶体管M1的栅极进行直流供...
李巍
王晓亮
王茜
冯春
贺腾
肖红领
姜丽娟
加热托盘的固定控制装置及其设备
本发明公开了一种加热托盘的固定控制装置及其设备。其中,加热托盘的固定控制装置包括:旋转轴;螺旋加热丝,设置于旋转轴外围,与旋转轴之间存在间隔;托盘,位于旋转轴正上方;以及铁磁体,固定于托盘内,位于托盘中央区域。通过在旋转...
王晓亮
梅书哲
肖红领
王权
殷海波
李巍
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