您的位置： 专家智库 > >

杨帅

作品数：9 被引量：0H指数：0
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司更多>>
相关领域：金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 9篇中文专利

领域

  • 2篇金属学及工艺

主题

  • 4篇热偶
  • 3篇锁紧
  • 3篇锁紧螺母
  • 3篇外螺纹
  • 3篇温度测量
  • 3篇温度测量装置
  • 3篇螺母
  • 3篇螺纹
  • 3篇夹紧
  • 3篇夹紧装置
  • 2篇石英
  • 2篇尾气
  • 2篇温度场
  • 2篇温度要求
  • 2篇立式
  • 2篇膜厚
  • 2篇膜厚均匀性
  • 2篇内螺纹
  • 2篇均匀性
  • 2篇兼容性

机构

  • 9篇北京七星华创...

作者

  • 9篇杨帅
  • 6篇董金卫
  • 2篇钟结实
  • 2篇王凯

年份

  • 2篇2017
  • 3篇2016
  • 4篇2014
共 9 条 记 录，以下是 1-9
全选 清除 导出
排序方式：
一种热偶固定装置及温度测量装置
本发明公开了一种热偶固定装置及温度测量装置，包括依次套于热偶外罩的固定接头、密封卡套、夹紧片及锁紧螺母；所述固定接头的内侧端固定在真空发生腔室侧壁上，外侧端抵靠所述密封卡套的一端，所述夹紧片的两侧分别抵靠所述密封卡套的另...
杨帅董金卫卢言晓
文献传递
具有工艺管压力控制装置的半导体热处理设备及控制方法
本发明公开了一种具有工艺管压力控制装置的半导体热处理设备及控制方法，通过将压力控制器原有的一个采样点增加为两个采样点，其中一个采样点可继续采集工艺管排气端的压力，另一个采样点用于采集承载区域内的压力，并增加在工艺的不同阶...
穆晓航钟结实王凯杨帅
一种热偶固定装置及温度测量装置
本发明公开了一种热偶固定装置及温度测量装置，包括依次套于热偶外罩的固定接头、密封卡套、夹紧片及锁紧螺母；所述固定接头的内侧端固定在真空发生腔室侧壁上，外侧端抵靠所述密封卡套的一端，所述夹紧片的两侧分别抵靠所述密封卡套的另...
杨帅董金卫卢言晓
文献传递
立式热处理装置
本实用新型公开了一种立式热处理装置，包括晶舟、保温桶以及工艺门，其中，保温桶包括底座、立柱、石英外罩以及若干组插片，本实用新型可有效固定晶舟和保温桶的各部件,使晶舟和保温桶的各部件在反应腔室中具有较好的同心性和稳定性，同...
杨帅董金卫
文献传递
一种具有加热装置的工艺管排气管路及控制方法
本发明公开了一种具有加热装置的工艺管排气管路及控制方法，通过在工艺管排气管路安装加热装置，可根据工艺菜单中不同步骤的加热温度需求，以设定的温度控制目标值对排气管路的管壁进行加热及温度控制，避免了工艺排气时的尾气在排气管路...
穆晓航钟结实王凯杨帅
文献传递
一种热偶固定装置及温度测量装置
本实用新型公开了一种热偶固定装置及温度测量装置，包括依次套于热偶外罩的固定接头、密封卡套、夹紧片及锁紧螺母；所述固定接头的内侧端固定在真空发生腔室侧壁上，外侧端抵靠所述密封卡套的一端，所述夹紧片的两侧分别抵靠所述密封卡套...
杨帅董金卫卢言晓
一种尾气冷却装置
本实用新型涉及半导体领域，具体涉及一种尾气冷却装置，该装置包括：冷却外罩、尾气输送管道、障碍物，其中：障碍物安装在尾气输送管道中。本实用新型解决了由于冷却装置比较短小，加之尾气气流速度快，因此热交换效率低，实际冷却效果不...
卢言晓董金卫杨帅
文献传递
一种热偶固定装置
本实用新型涉及热处理设备技术领域，公开了一种热偶固定装置。该热偶固定装置包括：固定管、套管和压柱；所述固定管分别开有第一通孔和第二通孔，所述第一通孔与所述第二通孔垂直连通，所述套管固定安装在所述第二通孔内，所述套管中心设...
谭瑞雷杨帅
文献传递
一种立式热处理装置
本发明公开了一种立式热处理装置，包括晶舟、保温桶以及工艺门，其中，保温桶包括底座、立柱、石英外罩以及若干组插片，本发明可有效固定晶舟和保温桶的各部件,使晶舟和保温桶的各部件在反应腔室中具有较好的同心性和稳定性，同时可保证...
杨帅董金卫
文献传递
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0