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周峰

作品数：13 被引量：0H指数：0
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司更多>>
相关领域：文化科学更多>>

合作作者

文献类型

  • 13篇中文专利

领域

  • 1篇文化科学

主题

  • 8篇半导体
  • 6篇半导体设备
  • 5篇下位机
  • 4篇氧化炉
  • 4篇上下位机
  • 4篇通信
  • 4篇通信系统
  • 4篇碰撞
  • 4篇开关
  • 4篇控制方法
  • 3篇通信方法
  • 2篇数字传感器
  • 2篇组通信
  • 2篇脉冲
  • 2篇接近开关
  • 2篇寄存器
  • 2篇监控技术
  • 2篇减速
  • 2篇反馈信号
  • 2篇感器

机构

  • 13篇北京七星华创...

作者

  • 13篇周峰
  • 6篇张海轮
  • 4篇王凯
  • 3篇张芳
  • 2篇张航
  • 2篇刘晨曦
  • 2篇邰晶
  • 2篇王峰

年份

  • 1篇2017
  • 3篇2016
  • 2篇2015
  • 7篇2014
共 13 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种控制晶舟升降运动的原点定位方法
一种控制晶舟升降运动的原点定位方法，包括：控制晶舟以一设定的速度参数向下运动，当原点传感器探测到舟升降机构刚遮挡原点传感器时，立即控制晶舟减速停止；然后,控制晶舟以一较慢的速度参数启动晶舟向上运动，当检测到原点脉冲上升沿...
邰晶周峰王峰刘晨曦
半导体设备的上下位机的通信方法和通信系统
本发明公开了半导体设备上下位机的通信系统，其中所述下位机包括用于接收上位机指令的指令接收寄存器；用于接收来自所述指令接收寄存器的指令以驱动半导体设备的执行机构执行相应动作的动作执行寄存器；用于配置工作状态标志位的标志位配...
王凯周峰张航慕晓航
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上下位机通讯监控方法
本发明涉及半导体设备监控技术，公开了一上下位机通讯监控方法，步骤包括：S1、上位机向下位机发送置位信号，启动监控；S2、下位机收到所述置位信号后向上位机发送反馈信号，并在第一预设延时后进行复位，同时进行复位计时；S3、上...
周峰张芳张海轮
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半导体设备的上下位机的通信方法和通信系统
本发明公开了半导体设备上下位机的通信系统及通信方法，其中所述下位机包括用于接收半导体设备的执行机构的状态反馈信息的反馈状态寄存器；用于对不同类型的状态反馈信息配置优先级的优先级配置模块；用于将所述状态反馈信息发送至上位机...
王凯周峰
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一种控制晶舟升降运动的原点定位方法
一种控制晶舟升降运动的原点定位方法，包括：控制晶舟以一设定的速度参数向下运动，当原点传感器探测到舟升降机构刚遮挡原点传感器时，立即控制晶舟减速停止；然后,控制晶舟以一较慢的速度参数启动晶舟向上运动，当检测到原点脉冲上升沿...
邰晶周峰王峰刘晨曦
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氧化炉炉门的开关控制方法
本发明公开了一种氧化炉炉门的开关控制方法，其包括炉门执行开关动作，当原位传感器探测到炉门进入其触发范围，反馈第一到位信号并控制炉门停止；炉门向反方向运动，当原位传感器探测到炉门离开其触发范围，反馈未到位信号并控制炉门停止...
张海轮周峰
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氧化炉炉门的开关控制方法
本发明公开了一种氧化炉炉门的开关控制方法，其包括炉门执行开关动作，当原位传感器探测到炉门进入其触发范围，反馈第一到位信号并控制炉门停止；炉门向反方向运动，当原位传感器探测到炉门离开其触发范围，反馈未到位信号并控制炉门停止...
张海轮周峰
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一种氧化炉炉门的开关控制方法
本发明公开了一种氧化炉炉门的开关控制方法，其包括炉门到达开关动作的预设行程终点，判断对应的接近开关是否被触发；炉门向开关动作的反方向运动，判断该接近开关是否被取消触发；炉门向开关动作的正方向运动，判断该接近开关是否被触发...
张海轮周峰
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半导体设备的上下位机的通信方法和通信系统
本发明公开了半导体设备上下位机的通信系统，其中所述下位机包括用于接收上位机指令的指令接收寄存器；用于接收来自所述指令接收寄存器的指令以驱动半导体设备的执行机构执行相应动作的动作执行寄存器；用于配置工作状态标志位的标志位配...
王凯周峰张航慕晓航
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一种氧化炉炉门的开关控制方法
本发明公开了一种氧化炉炉门的开关控制方法，其包括炉门到达开关动作的预设行程终点，判断对应的接近开关是否被触发；炉门向开关动作的反方向运动，判断该接近开关是否被取消触发；炉门向开关动作的正方向运动，判断该接近开关是否被触发...
张海轮周峰
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