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文献类型

  • 4篇中文专利

主题

  • 2篇镀膜
  • 1篇挡板
  • 1篇有害气体
  • 1篇真空镀膜
  • 1篇真空镀膜设备
  • 1篇真空阀
  • 1篇真空计
  • 1篇真空容器
  • 1篇排气
  • 1篇排气管
  • 1篇排气系统
  • 1篇热管
  • 1篇连接处
  • 1篇剧毒
  • 1篇均匀性
  • 1篇机械泵
  • 1篇集热
  • 1篇集热管
  • 1篇高真空
  • 1篇过滤元件

机构

  • 4篇北京北仪创新...

作者

  • 4篇王燕
  • 3篇侯荣华
  • 1篇朱秀明
  • 1篇翟晓烨
  • 1篇施琦

年份

  • 1篇2015
  • 1篇2013
  • 1篇2012
  • 1篇2010
4 条 记 录,以下是 1-4
排序方式:
用于真空镀膜设备的真空阀
本实用新型公开一种用于真空镀膜设备的真空阀,属真空镀膜设备的控制阀领域。该真空阀包括:阀体、气缸和阀盖;阀体内为中空结构,阀体上设有真空容器连接口、低真空泵连接口和高真空泵连接口,真空容器连接口经阀体内与低真空泵连接口、...
王燕侯荣华
文献传递
一种过滤装置
本实用新型提供一种过滤装置,连接于进行镀膜的镀膜集热管(6)一端,包括:过滤元件(4)、过滤接管(1)、连接板(3)、密封圈(5)与连接卡箍法兰(2);过滤接管(1)一端焊接于过滤元件(4)一端,并与中空的过滤元件(4)...
侯荣华王燕
文献传递
一种分子泵调试台
本实用新型公开了一种分子泵调试台,所述调试台由多个调试台单元组合,每个调试台单元均包括有机架、分子泵电源、真空计、控制面板以及排气系统,所述机架上放置两台待调试分子泵,所述分子泵电源、真空计及控制面板置于所述机架的后侧上...
朱秀明王燕翟晓烨施琦
文献传递
补偿挡板机构
本实用新型涉及一种补偿挡板机构。该补偿挡板机构包括补偿挡板、连接架、定位体及固定体,补偿挡板的一端固定于连接架的一端、连接架的另一端与定位体连接,定位体与固定体连接。定位体可以包括T型调整座和L型调整座。本实用新型通过设...
赵益萍侯荣华王燕
文献传递
共1页<1>
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