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杨光

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司更多>>
相关领域：化学工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇中文专利

领域

  • 1篇化学工程

主题

  • 3篇等离子体增强
  • 3篇等离子体增强...
  • 3篇电极
  • 3篇电极接触
  • 3篇碳化硅
  • 3篇耐温
  • 3篇化学气相
  • 3篇化学气相沉积
  • 3篇机械机构

机构

  • 3篇北京七星华创...

作者

  • 3篇杨光
  • 3篇郑建宇
  • 3篇王广明
  • 3篇宋晓彬

年份

  • 1篇2013
  • 2篇2012
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
电极引入装置
本发明涉及等离子体增强化学气相沉积设备，公开了一种电极引入装置，其包括两个并列设置的电极支架；每个电极支架的一端与一个炉门电极相连，另一端为金属触头，与石墨舟上的电极块相连；还包括穿过炉门的连接杆，其伸入炉门内侧的一端连...
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电极引入装置
本发明涉及等离子体增强化学气相沉积设备，公开了一种电极引入装置，其包括两个并列设置的电极支架；每个电极支架的一端与一个炉门电极相连，另一端为金属触头，与石墨舟上的电极块相连；还包括穿过炉门的连接杆，其伸入炉门内侧的一端连...
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电极引入装置
本实用新型涉及等离子体增强化学气相沉积设备，公开了一种电极引入装置，其包括两个并列设置的电极支架；每个电极支架的一端与一个炉门电极相连，另一端为金属触头，与石墨舟上的电极块相连；还包括穿过炉门的连接杆，其伸入炉门内侧的一...
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