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张倩

作品数：1 被引量：3H指数：1
供职机构：合肥工业大学材料科学与工程学院更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇电子束
  • 1篇电阻
  • 1篇性能表征
  • 1篇蒸发
  • 1篇蒸发法
  • 1篇非晶
  • 1篇非晶薄膜

机构

  • 1篇合肥工业大学

作者

  • 1篇胡青卓
  • 1篇张博
  • 1篇张倩

传媒

  • 1篇材料导报

年份

  • 1篇2015
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
电子束与电阻复合蒸发法制备Zr-Cu非晶薄膜及性能表征被引量：3
2015年
主要采用电子束蒸发与电阻蒸发复合镀膜系统制备 Zr-Cu 二元非晶薄膜，衬底基板无冷却装置。通过X 射线衍射仪（XRD）、场发射透射电子显微镜（FE-TEM）、场发射扫描电子显微镜（FE-SEM）、微控四探针测量仪等仪器，系统地研究了样品沉积时间对薄膜厚度、微观结构、表面形貌以及电学性能的影响，另外还分析了与磁控溅射制备的 Zr-Cu 非晶样品的区别。结果显示，该复合镀膜技术制备的 Zrx Cu100-x 非晶薄膜玻璃形成成分范围为 x =30~85；薄膜的结构与性能对沉积时间比较敏感。样品随沉积时间的延长从非晶结构逐渐向非晶纳米晶复合结构转变；相比磁控溅射制备的薄膜样品，复合蒸发法制备的薄膜表面呈现较大尺寸的“团簇”形貌；样品的电阻率和方块电阻随沉积时间的延长逐渐减小。
张倩胡青卓张博
关键词：非晶薄膜
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