郝杰
- 作品数：2 被引量：8H指数：1
- 供职机构：西安航空学院更多>>
- 发文基金：陕西省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学电子电信更多>>
- 高能电子辐照绝缘厚样品的表面电位动态特性被引量：7
- 2015年
- 采用数值计算和实验测量相结合的方法,阐明了高能电子束照射下绝缘厚样品的表面电位和电子产额动态特性.结果表明:由于电子在样品内部的散射和输运,沿着深度方向,空间电位先缓慢下降到最小值,然后逐渐升高并趋近于零;随着电子束照射,样品的表面电位逐渐下降,可至负千伏量级,电子总产额逐渐增大至一个接近于1的稳定值;电子束停止照射后,长时间放置下,表面电位将逐渐升高,但带电并不会消除;表面电位随电子束能量的升高近似线性下降,随入射角的增大而升高,而随样品厚度的增大仅略有下降.
- 李维勤郝杰张海波
- 关键词：数值模拟
- 具有埋层结构电介质样品扫描电镜二次电子特性被引量：1
- 2015年
- 采用较为全面的考虑电子散射、俘获、输运和自洽场等过程的数值模型,阐明了具有埋层结构电介质样品的扫描电镜检测机理及二次电子电流的动态特性.模拟结果表明,被沟槽界面俘获的电荷会影响空间电场分布,从而影响二次电子特性.随着电子束照射,样品表面沿着深度方向的电场强度增强,更多的二次电子返回表面,从而产生图像衬度.图像衬度随电子束能量的变化呈现极大值,而随电子束电流的增大而增大,模拟结果与实验结果基本一致.
- 郝杰李维勤钱钧
- 关键词：电介质扫描电镜
