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王蒙

作品数：10 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>

合作作者

文献类型

  • 10篇中文专利

主题

  • 10篇注入机
  • 9篇离子注入
  • 8篇控制系统
  • 7篇电源
  • 7篇电源系统
  • 6篇离子注入机
  • 4篇信号
  • 4篇预抽
  • 4篇离子
  • 4篇离子反应
  • 3篇信号采集
  • 3篇信号采集系统
  • 2篇虚拟仪器
  • 2篇压力控制
  • 2篇压力控制器
  • 2篇数据采集
  • 2篇数据采集卡
  • 2篇网络
  • 2篇模块化
  • 2篇控制器

机构

  • 10篇中国科学院微...

作者

  • 10篇夏洋
  • 10篇赵章琰
  • 10篇李勇滔
  • 10篇李超波
  • 10篇王蒙

年份

  • 4篇2016
  • 1篇2015
  • 5篇2013
共 10 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
基于ARM的嵌入式注入机控制系统
本发明提供一种基于ARM的注入机控制系统包括电源系统、反应腔室、预抽腔室、运行有注入机控制软件的上位机、真空控制系统、送片系统；所述真空控制系统在所述上位机的控制下，控制所述反应腔室、所述预抽腔室的真空度；所述反应腔室与...
王蒙李勇滔赵章琰李超波夏洋
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离子注入机控制系统
本发明公开了一种离子注入机控制系统，包括电源系统，反应腔室、预抽腔室、工控机，工控机，所述工控机控制所述反应腔室、预抽腔室的真空度、硅片反应过程及取片过程。本发明提供的一种离子注入机控制系统采用PXI标准，选用工控机与数...
王蒙李勇滔赵章琰李超波夏洋
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离子注入机
本发明公开了一种离子注入机，包括电源系统、反应腔室、预抽腔室、真空控制系统、送片系统及送气系统。所述真空控制系统分别与所述反应腔室、所述预抽腔室连接；所述反应腔室与所述预抽腔室连接；所述送片系统用于将硅片从所述预抽腔室运...
王蒙李勇滔赵章琰李超波夏洋
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模块化离子注入机控制系统
本发明公开了一种模块化离子注入机控制系统，包括电源系统，反应腔室、预抽腔室、主控制器、第一真空控制器、送片控制器、压力控制器、第二真空控制器及气体控制器；所述主控制器与所述第一真空控制器、送片控制器、压力控制器、第二真空...
王蒙李勇滔赵章琰李超波夏洋
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基于虚拟仪器的注入机控制系统
本发明提供一种基于虚拟仪器的注入机控制系统包括注入机电源系统、设置有注入机控制软件的上位机、反应腔室、预抽腔室。本发明提供的基于虚拟仪器的注入机控制系统信号采集系统整合度高，为控制提供了牢靠的外界条件，结构简单，可用于大...
王蒙李勇滔赵章琰李超波夏洋
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基于虚拟仪器的注入机控制系统
本发明提供一种基于虚拟仪器的注入机控制系统包括注入机电源系统、设置有注入机控制软件的上位机、反应腔室、预抽腔室。本发明提供的基于虚拟仪器的注入机控制系统信号采集系统整合度高，为控制提供了牢靠的外界条件，结构简单，可用于大...
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离子注入机
本发明公开了一种离子注入机，包括电源系统、反应腔室、预抽腔室、真空控制系统、送片系统及送气系统。所述真空控制系统分别与所述反应腔室、所述预抽腔室连接；所述反应腔室与所述预抽腔室连接；所述送片系统用于将硅片从所述预抽腔室运...
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模块化离子注入机控制系统
本发明公开了一种模块化离子注入机控制系统，包括电源系统，反应腔室、预抽腔室、主控制器、第一真空控制器、送片控制器、压力控制器、第二真空控制器及气体控制器；所述主控制器与所述第一真空控制器、送片控制器、压力控制器、第二真空...
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离子注入机控制系统
本发明公开了一种离子注入机控制系统，包括电源系统，反应腔室、预抽腔室、工控机，工控机，所述工控机控制所述反应腔室、预抽腔室的真空度、硅片反应过程及取片过程。本发明提供的一种离子注入机控制系统采用PXI标准，选用工控机与数...
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基于ARM的嵌入式注入机控制系统
本发明提供一种基于ARM的注入机控制系统包括电源系统、反应腔室、预抽腔室、运行有注入机控制软件的上位机、真空控制系统、送片系统；所述真空控制系统在所述上位机的控制下，控制所述反应腔室、所述预抽腔室的真空度；所述反应腔室与...
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