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吴飞斌

作品数：29 被引量：41H指数：4
供职机构：中国科学院更多>>
发文基金：上海市自然科学基金国家自然科学基金福建省科技计划项目更多>>
相关领域：机械工程自动化与计算机技术理学电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 18篇专利
  • 10篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 7篇机械工程
  • 5篇自动化与计算...
  • 5篇理学
  • 2篇电子电信
  • 1篇建筑科学
  • 1篇文化科学

主题

  • 11篇干涉仪
  • 10篇剪切干涉
  • 9篇剪切干涉仪
  • 8篇光学
  • 7篇波像差
  • 6篇光学元件
  • 6篇光栅
  • 5篇投影物镜
  • 5篇子孔径
  • 5篇子孔径拼接
  • 5篇物镜
  • 5篇面形
  • 4篇在线检测
  • 3篇平面镜
  • 3篇相干
  • 3篇相位
  • 3篇口径
  • 3篇波前
  • 3篇差分
  • 2篇衍射

机构

  • 22篇中国科学院上...
  • 7篇中国科学院
  • 4篇中国科学院大...
  • 2篇福州大学
  • 2篇厦门理工学院
  • 1篇中北大学

作者

  • 29篇吴飞斌
  • 21篇王向朝
  • 21篇李杰
  • 21篇唐锋
  • 16篇李永
  • 7篇韩军
  • 6篇戴凤钊
  • 3篇郭福东
  • 2篇张国先
  • 2篇余程
  • 1篇李思坤
  • 1篇卢云君
  • 1篇邹炎火
  • 1篇何鹏

传媒

  • 2篇中国激光
  • 1篇激光与光电子...
  • 1篇光学学报
  • 1篇激光杂志
  • 1篇石材
  • 1篇仪表技术与传...
  • 1篇计算机与数字...
  • 1篇科学技术与工...
  • 1篇光学与光电技...

年份

  • 1篇2024
  • 2篇2023
  • 1篇2022
  • 1篇2019
  • 1篇2018
  • 6篇2017
  • 4篇2016
  • 5篇2015
  • 8篇2014
共 29 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
光刻机原位快速高空间分辨率波像差检测装置及方法
一种光刻机原位快速高空间分辨率波像差检测装置及方法，该装置包括用于产生激光光束的光源，沿光束传播方向依次是照明系统、物面光栅板、能承载物面光栅板并拥有精确定位能力的掩模台、光刻机投影物镜、波像差传感器、能承载波像差传感器...
李杰唐锋王向朝吴飞斌张国先郭福东
光栅剪切波像差检测干涉仪及其检测方法
一种光栅剪切波像差检测干涉仪，包括光源、聚焦镜、滤波小孔、二维光栅、光栅位移台、光阑板、光阑对准位移台和二维光电传感器。本发明检测待测光学系统的波像差，当待测光学系统经过光源照射，其波前经过光栅分离和剪切产生干涉图，将多...
李杰唐锋王向朝戴凤钊吴飞斌李永
基于朗奇剪切干涉仪的相位提取方法
一种基于朗奇剪切干涉仪的相位提取方法，该方法采用的朗奇剪切干涉仪结构包括光源、聚焦透镜、散射光学元件、一维衍射光栅板、被测光学系统平台、棋盘光栅、二维光电传感器和计算机。在被测光学系统物平面和像平面分别放置一维衍射光栅和...
吴飞斌唐锋王向朝李杰李永
光散射反演光学元件缺陷的级联机器学习算法
2024年
表面缺陷类型的判定和尺寸识别对于精密光学元件表面质量评价至关重要。针对利用角分辨散射信号反演表面缺陷结构特征参数时,传统反演算法在反演维度和尺度上存在的局限,提出一种基于决策树模型的级联机器学习反演算法。为了构建训练模型所需的数据集,基于时域有限差分(FDTD)法建立了角分辨散射系统的电磁仿真模型,通过仿真计算获得数据集。测试集数据的反演结果表明,所建立的算法分别以0.99的area under the curve(AUC)和平均0.932的R^(2)实现缺陷类型和深度的预测,拓宽了反演维度,并且能够以平均0.997的R^(2)在各缺陷深度尺度范围下实现缺陷宽度的准确预测,拓展了反演尺度。所提算法为精确定量分析光学元件表面的微小尺寸缺陷提供了新思路。
蔡炜滨吴飞斌李如意韩军
关键词：时域有限差分
用于45度平面镜面形检测的子孔径拼接测量装置与方法
一种用于45度平面镜面形检测的子孔径拼接测量装置，包括：斐索干涉仪、第一标准镜、第二标准镜、45度平面镜、拼接位移台、二维调整架、倾斜二维调整架。本发明在被测45度平面镜上方加入反射镜，使光原路返回，对45度平面镜进行子...
李永唐锋王向朝李杰吴飞斌
投影物镜波像差在线检测装置和检测方法
一种投影物镜波像差在线检测装置和方法，所述检测装置结构包括光源、旋转散射器、第一聚焦透镜、光纤阵列、第二聚焦透镜、散射光学元件、物面光栅板、像面光栅板、二维光电传感器、相移控制模块和计算机；旋转散射器是由支架、电动机和圆...
吴飞斌唐锋王向朝李杰李永
区域法重建遮拦波前的改进重建方法
一种区域法重建遮拦波前的改进重建方法，在剪切干涉仪测量共轴反射光学系统的波前中，由于光学系统中反射镜支架的存在，干涉图及差分波前中带有分割遮拦，采用一般区域法重建时，各区域之间不同的直流误差影响波前重建精度。本发明将区域...
李杰王向朝唐锋戴凤钊吴飞斌李永
基于特征融合的金属铸造工件表面裂纹检测算法研究被引量：4
2023年
针对复杂结构的金属铸造工件表面因成像复杂引发干扰,裂纹提取判别困难的检测问题,提出一种结合了颜色形态特征融合图像分割和纹理特征裂纹判定的金属铸造工件表面裂纹检测算法。该算法通过GAMMA变换增强裂纹并弱化背景,根据裂纹目标的颜色特征与几何形状特征相融合,量化特征并滤波特征值分割提取裂纹目标,基于灰度共生矩阵对候选裂纹区域提取纹理特征,使用支持向量机分类器进行训练并识别裂纹。金属工件表面裂纹检测实验表明,该算法在图像分割方面能更加完整准确地提取裂纹,在真伪裂纹的识别中准确率、精确率、召回率和F1得分分别为94.47%、92.51%、96.67%和93.74%。相较于传统检测算法,该算法克服了上述干扰影响,在准确率等方面具有优势,且具有较快的识别速度。
周少琎韩军吴飞斌
关键词：磁粉探伤图像分割纹理特征
一种Ronchi剪切干涉仪相位提取方法
<正>Ronchi剪切干涉是一种采用扩展光源调制光场空间相干性的剪切干涉,具有没有空间光程误差、检测精度高、灵敏度高等优点。高端光刻机领导产商的ILIAS原位波像差传感器即是基于Ronchi剪切干涉原理,测量分辨率与重复...
吴飞斌唐锋王向朝
关键词：剪切干涉仪
一种提高平面面形子孔径拼接检测精度的方法
一种提高平面面形子孔径拼接检测精度的方法，首先对待测平面光学元件进行子孔径拼接干涉测量，得到子孔径面形数据，直接拼接得到全口径面形；其次过参考镜中心对全口径面形横向采样，计算得到拼接累积误差，然后根据本发明提出的方法计算...
李永唐锋王向朝李杰吴飞斌
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