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杨小忠

作品数：4 被引量：1H指数：1
供职机构：南京大学更多>>
相关领域：一般工业技术电气工程更多>>

合作作者

题名
作者

文献类型

  • 3篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇电气工程
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 4篇溅射
  • 4篇超导
  • 3篇磁控
  • 3篇磁控溅射
  • 2篇真空室
  • 2篇缓冲层
  • 2篇硅薄膜
  • 2篇硅衬底
  • 2篇超导性
  • 2篇超导性能
  • 2篇衬底
  • 1篇探测器
  • 1篇工作气体
  • 1篇光子
  • 1篇光子探测器
  • 1篇NB
  • 1篇SI薄膜
  • 1篇铌
  • 1篇超导薄膜
  • 1篇超导转变

机构

  • 4篇南京大学

作者

  • 4篇杨小忠
  • 3篇贾小氢
  • 3篇康琳
  • 3篇吴培亨
  • 2篇顾敏
  • 2篇涂学凑
  • 1篇王翔

年份

  • 3篇2015
  • 1篇2013
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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一种利用缓冲层优化硅衬底上氮化铌薄膜超导性能的方法
本发明公开了一种利用缓冲层优化硅衬底上氮化铌薄膜超导性能的方法，包括如下步骤：在高阻硅衬底上，通过磁控溅射六氮五铌薄膜作为缓冲层；在真空室中原位磁控溅射氮化铌薄膜。本发明在高阻硅衬底上，通过磁控溅射六氮五铌薄膜缓冲层，明...
贾小氢康琳涂学凑顾敏杨小忠吴培亨
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用于超导单光子探测器的氮化铌与铌硅薄膜制备研究
单光子探测技术既具有重要的科学意义也有广泛的应用领域,在量子秘钥分发、量子计算、荧光探测、微弱光成像等方面均有重要作用。超导纳米线单光子探测器基于超导纳米线条中非平衡态的热电子效应,具有速度快、探测范围宽和暗记数低的优点...
杨小忠
关键词：磁控溅射超导转变温度
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一种利用缓冲层优化硅衬底上氮化铌薄膜超导性能的方法
本发明公开了一种利用缓冲层优化硅衬底上氮化铌薄膜超导性能的方法，包括如下步骤：在高阻硅衬底上，通过磁控溅射六氮五铌薄膜作为缓冲层；在真空室中原位磁控溅射氮化铌薄膜。本发明在高阻硅衬底上，通过磁控溅射六氮五铌薄膜缓冲层，明...
贾小氢康琳涂学凑顾敏杨小忠吴培亨
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一种利用磁控共溅射法制备铌硅薄膜的方法
本发明公开了一种利用磁控共溅射法制备铌硅薄膜的方法，包括以下步骤：（1）靶材选取，选取纯度均为99.999%均匀掺杂的块状Nb和Si作为磁控共溅射的靶材，将靶材放入磁控共溅射室；（2）衬底处理，对衬底依次用超声波、丙酮、...
贾小氢杨小忠王翔康琳吴培亨
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