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马毅

作品数：126 被引量：0H指数：0
供职机构：浙江工业大学更多>>
相关领域：金属学及工艺自动化与计算机技术理学一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 126篇中文专利

领域

  • 7篇金属学及工艺
  • 5篇自动化与计算...
  • 2篇机械工程
  • 2篇一般工业技术
  • 2篇理学
  • 1篇轻工技术与工...
  • 1篇文化科学

主题

  • 33篇溅射
  • 30篇结合力
  • 29篇磁控
  • 28篇电机
  • 26篇磁控溅射
  • 25篇靶材
  • 22篇镀膜
  • 18篇步进
  • 16篇步进电机
  • 16篇进电机
  • 15篇传动
  • 14篇电机驱动
  • 12篇真空镀膜
  • 12篇纳米
  • 11篇手动
  • 11篇稳定性
  • 11篇纳米压入
  • 11篇步进电机驱动
  • 9篇纤维
  • 8篇传感

机构

  • 126篇浙江工业大学

作者

  • 126篇马毅
  • 110篇张泰华
  • 33篇彭光健
  • 29篇蒋伟峰
  • 26篇陈恒
  • 14篇叶建华
  • 13篇鲁聪达
  • 8篇蔡亮
  • 8篇贾超
  • 5篇逯智科
  • 4篇李相清
  • 3篇程文强
  • 1篇高增梁

年份

  • 12篇2024
  • 2篇2023
  • 1篇2022
  • 11篇2021
  • 38篇2020
  • 26篇2019
  • 5篇2018
  • 22篇2017
  • 3篇2016
  • 5篇2015
  • 1篇2014
共 126 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
纳米压入仪用冷却平台
纳米压入仪用冷却平台，包括底座，底座前端开口，升降台嵌入底座内，升降台的前端面与底座通过拐角结构配合；散热铜排嵌入升降台中，制冷片发热端与散热铜排接触，制冷片的制冷端与热电偶接触，热电偶与载物台接触，隔热螺栓将载物台、热...
马毅叶建华张泰华彭光健陈恒蒋伟峰
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一种半导体制冷片靶材冷却装置
本实用新型公开了一种半导体制冷片靶材冷却装置，其特征在于，包括金属固定台，所述金属固定台中心设有安装空间，所述安装空间内设有水冷铜板、半导体制冷片及靶材，所述水冷铜板、半导体制冷片及靶材依次叠加设置在安装空间内，所述半导...
马毅黄先伟宋宇轩俞越翎张泰华
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一种磁控溅射中纤维端面镀膜装置
本发明公开了一种磁控溅射中纤维端面镀膜装置，包括底座，所述底座上设有密封盒体，所述底座上设有支撑座，所述支撑座上设有靶材，所述密封盒体内在位于靶材正上方位置配合设置纤维夹紧机构；所述纤维夹紧机构包括一组夹板、螺栓及螺母，...
马毅谢续友黄先伟俞越翎张泰华
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复合螺旋弹簧
复合螺旋弹簧，弹簧丝节距相等，弹簧丝为两层结构，外层为金属层，内层为剪切增稠胶。这种复合了剪切增稠胶的螺旋弹簧，静荷载表现线性特性，动荷载由于剪切增稠胶其独特力学性能有非线性刚度、阻尼特性。很好地克服了现有弹簧的不足。
蒋伟峰蔡亮张泰华贾超彭光健陈恒马毅
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一种真空镀膜溅射靶材镀穿警报装置
本发明公开了一种真空镀膜溅射靶材镀穿警报装置，其特征在于，包括金属固定座，所述金属固定座中心位置设有安装孔，所述安装孔内设有靶材、环形中空气压片及冷却水铜板，所述靶材、环形中空气压片及冷却水铜板依次叠加设置在安装孔内，所...
马毅黄先伟宋宇轩俞越翎张泰华
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一种薄膜与基体结合力步进电机驱动丝杠传动测量装置
本发明公开了一种薄膜与基体结合力步进电机驱动丝杠传动测量装置，包括测量架、检测试样、步进电机驱动装置及薄膜结合力测定装置，所述步进电机驱动装置固定设置在测量架，所述薄膜结合力测定装置与步进电机驱动装置相连，所述检测试样一...
马毅周力黄先伟谢续友吴伊帆
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一种适用于磁控溅射仪的自动式圆棒试样镀膜夹持装置
本发明公开了一种适用于磁控溅射仪的自动式圆棒试样镀膜夹持装置，包括试样台固定装置和圆棒试样夹持装置。试样台固定装置由固定板、螺钉等部件组成；圆棒试样夹持装置由电机、螺纹套筒等部件组成。本发明结构设计巧妙，使用方便，能够自...
马毅黄先伟宋宇轩陈迦南李相清
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一种薄膜与基体结合力电动或手动测量装置
本发明公开了一种薄膜与基体结合力电机驱动手动驱动可转换测量装置，包括电机驱动装置和结合力测定装置。电机驱动装置由步进电机、连杆等部件组成；手动驱动部分包括摇杆，摇杆齿轮等部件组成；薄膜结合力测定装置主要由拉力传感器和固定...
马毅黄先伟宋宇轩张泰华
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一种真空镀膜膜厚检测装置
本实用新型公开了一种真空镀膜膜厚检测装置，包括磁控溅射仪主腔及设置在磁控溅射仪主腔内的样品台，所述样品台底面固定设置高精度力传感器，所述高精度力传感器下方设有硅片，所述硅片相连设置在高精度力传感器上，所述磁控溅射仪主腔底...
马毅周力黄先伟谢续友吴伊帆
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纳米压入仪用液氮制冷平台
纳米压入仪用液氮制冷平台，包括底座，升降台嵌入底座内，底座的前端开口；保温腔体为中空的上端开口的腔体，保温腔体中空内层填充隔热材料，升降台开设通孔，保温腔体卡入升降台的通孔内；与液氮流通管相连接的雾化喷嘴安装在保温腔体内...
马毅叶建华张泰华彭光健陈恒蒋伟峰
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