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于博文

作品数：10 被引量：0H指数：0
供职机构：哈尔滨工业大学更多>>
相关领域：机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 9篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇机械工程

主题

  • 8篇微纳米结构
  • 8篇纳米
  • 7篇探针
  • 6篇商用
  • 6篇精密工作台
  • 6篇滑块
  • 4篇工作台
  • 3篇底座
  • 3篇原子力显微镜
  • 2篇主轴
  • 2篇精密主轴
  • 2篇刻划
  • 2篇机械加工
  • 2篇AFM
  • 1篇调心
  • 1篇针尖
  • 1篇气浮
  • 1篇球面加工
  • 1篇回转
  • 1篇回转中心

机构

  • 10篇哈尔滨工业大...

作者

  • 10篇于博文
  • 9篇耿延泉
  • 9篇胡振江
  • 9篇闫永达
  • 9篇赵学森

年份

  • 5篇2016
  • 2篇2015
  • 3篇2014
共 10 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
基于原子力显微镜在薄壁微小球面加工微纳米结构的五轴加工装置及方法
本发明公开了一种基于原子力显微镜在薄壁微小球面加工微纳米结构的五轴加工装置及方法。所述装置包括AFM、二维微调心机构、精密气浮轴系、二维高精度定位平台和带动AFM进行转动的电动旋转台，二维微调心机构与精密气浮轴系的上端连...
闫永达赵学森耿延泉于博文胡振江
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一种AFM探针相同刻划方向机械加工复杂纳米结构的装置及方法
本发明公开了一种AFM探针相同刻划方向机械加工复杂纳米结构的装置及方法。所述装置包括AFM、手动二维调整台、精密主轴及二维高精度定位平台，其中：手动调整二维台的底部与精密主轴的上端连接，精密主轴的下端与二维高精度定位平台...
闫永达于博文耿延泉胡振江赵学森
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一种采用AFM探针纳米刻划加工复杂三维微纳米结构的方法
一种采用AFM探针纳米刻划加工复杂三维微纳米结构的方法，属于微纳米结构加工领域。为了解决复杂三维微纳米结构加工问题，所述装置包括AFM、X方向精密工作台、Y方向精密工作台，X方向精密工作台底座固连在Y方向精密工作台的滑块...
闫永达耿延泉于博文赵学森胡振江
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采用AFM探针纳米刻划加工复杂三维微纳米结构的方法
采用AFM探针纳米刻划加工复杂三维微纳米结构的方法，属于微纳米结构加工领域。为了解决复杂三维微纳米结构加工问题，所述装置包括AFM、X方向精密工作台、Y方向精密工作台，X方向精密工作台底座固连在Y方向精密工作台的滑块上，...
闫永达耿延泉于博文赵学森胡振江
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采用AFM探针纳米刻划加工复杂三维微纳米结构的方法
一种采用AFM探针纳米刻划加工复杂三维微纳米结构的方法，属于微纳米结构加工领域。为了解决复杂三维微纳米结构加工问题，所述装置包括AFM、X方向精密工作台、Y方向精密工作台，X方向精密工作台底座固连在Y方向精密工作台的滑块...
于博文耿延泉闫永达赵学森胡振江
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基于AFM探针轨迹及工作台运动结合的纳米加工技术研究
基于原子力显微镜（Atomic Force Microscope，AFM）的纳米机械刻划加工技术已经成为加工纳米结构的有效方法之一，随着纳米技术的发展，复杂微纳结构的制造已经成为一个研究热点。本课题针对AFM探针纳米加工...
于博文
关键词：原子力显微镜微纳米结构
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采用AFM探针纳米刻划加工复杂三维微纳米结构的方法
采用AFM探针纳米刻划加工复杂三维微纳米结构的方法，属于微纳米结构加工领域。为了解决复杂三维微纳米结构加工问题，所述装置包括AFM、X方向精密工作台、Y方向精密工作台，X方向精密工作台底座固连在Y方向精密工作台的滑块上，...
闫永达耿延泉于博文赵学森胡振江
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采用AFM探针纳米刻划加工复杂三维微纳米结构的装置及方法
一种采用AFM探针纳米刻划加工复杂三维微纳米结构的装置及方法，属于微纳米结构加工领域。为了解决复杂三维微纳米结构加工问题，所述装置包括AFM、X方向精密工作台、Y方向精密工作台，X方向精密工作台底座固连在在Y方向精密工作...
于博文耿延泉闫永达赵学森胡振江
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一种采用AFM探针纳米刻划加工复杂三维微纳米结构的方法
一种采用AFM探针纳米刻划加工复杂三维微纳米结构的方法，属于微纳米结构加工领域。为了解决复杂三维微纳米结构加工问题，所述装置包括AFM、X方向精密工作台、Y方向精密工作台，X方向精密工作台底座固连在Y方向精密工作台的滑块...
闫永达耿延泉于博文赵学森胡振江
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一种AFM探针相同刻划方向机械加工复杂纳米结构的方法
本发明公开了1、一种AFM探针相同刻划方向机械加工复杂纳米结构的方法，其特征在于所述方法包括如下步骤：一、被加工样品固定在手动二维调整台的上部，对精密主轴进行调心，并确定AFM探针与精密主轴回转中心的相对位置关系；二、确...
闫永达于博文耿延泉胡振江赵学森
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