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李运

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文专利

主题

  • 2篇低温退火
  • 2篇氧化物
  • 2篇退火
  • 2篇晶圆
  • 2篇键合
  • 1篇下表面
  • 1篇活化处理

机构

  • 2篇中国科学院微...

作者

  • 2篇王盛凯
  • 2篇孙兵
  • 2篇郭浩
  • 2篇刘洪刚
  • 2篇赵威
  • 2篇张雄
  • 2篇常虎东
  • 2篇李运

年份

  • 1篇2016
  • 1篇2014
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
一种低温晶圆键合方法
本发明公开了一种低温晶圆键合方法，包括：对两个晶圆进行清洗；在清洗后的两个晶圆表面沉积一层氧化物；对两个晶圆中的至少一个进行表面活化处理；将表面活化处理后的两个晶圆在非真空环境下表面相对彼此接触并施加外力使其键合；以及对...
刘洪刚李运王盛凯张雄郭浩孙兵常虎东赵威
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一种低温晶圆键合方法
本发明公开了一种低温晶圆键合方法，包括：对两个晶圆进行清洗；在清洗后的两个晶圆表面沉积一层氧化物；对两个晶圆中的至少一个进行表面活化处理；将表面活化处理后的两个晶圆在非真空环境下表面相对彼此接触并施加外力使其键合；以及对...
刘洪刚李运王盛凯张雄郭浩孙兵常虎东赵威
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