2024年11月19日
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董晓
作品数:
5
被引量:1
H指数:1
供职机构:
复旦大学
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相关领域:
化学工程
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合作作者
庄军
复旦大学
赵利
复旦大学
李宁
复旦大学
邵和助
复旦大学
朱震
复旦大学
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机构
5篇
复旦大学
作者
5篇
董晓
4篇
李宁
4篇
赵利
4篇
庄军
2篇
陈畅
2篇
朱震
2篇
邵和助
1篇
孙海彬
年份
2篇
2015
2篇
2014
1篇
2013
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飞秒激光氮重掺硅材料的性质及其应用
论文采用飞秒激光重掺杂技术,在普通硅材料中掺杂氮元素。采用该掺杂技术在硅中所掺氮原子的浓度大约为1020/cm3,远远超过氮在硅晶格中的固溶度,即4.5×1015/cm3;同时也远远超出传统氮掺杂方法所掺杂的浓度(大约为...
董晓
关键词:
硅基材料
氮元素
光电器件
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一种改善硅晶片机械性能的方法
本发明涉及半导体晶片技术领域,具体为一种改善半导体硅晶片机械性能的方法。本发明方法包括如下步骤:选择工业用FZ或CZ方法得到的硅晶片,对所述硅晶片彻底清洗;将所述硅晶片置于一定压强的含氮密闭气体氛围中;在所述气体氛围中,...
赵利
庄军
邵和助
李宁
董晓
朱震
孙海彬
梁葱
文献传递
一种广谱吸收的黑硅中间带太阳能电池结构及制作方法
本发明属于太阳能电池技术领域,具体涉及以黑硅为中间带材料的太阳能电池结构及其制作方法,该结构至上而下依次包括:迎光面n型硅外延层、广谱吸收的黑硅中间带结构层、背光面p型硅基衬底。其制备方法为在中间带结构层中,通过适当调控...
赵利
庄军
李宁
陈畅
董晓
文献传递
非制冷光子型硅基红外探测器芯片及其制备方法和应用
本发明属于红外探测器技术领域,具体为一种非制冷的光子型硅基红外探测器芯片及其备作方法和应用。本发明结构自上而下依次为:n+重掺杂微结构层、硅表面的微结构以及n型硅片。本发明结构为一固有连接的整体,所述硅表面的锥体结构是在...
赵利
庄军
李宁
董晓
朱震
邵和助
文献传递
一种广谱吸收的黑硅中间带太阳能电池结构及制作方法
本发明属于太阳能电池技术领域,具体涉及以黑硅为中间带材料的太阳能电池结构及其制作方法,该结构至上而下依次包括:迎光面n型硅外延层、广谱吸收的黑硅中间带结构层、背光面p型硅基衬底。其制备方法为在中间带结构层中,通过适当调控...
赵利
庄军
李宁
陈畅
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