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杨小君

作品数：4 被引量：0H指数：0
供职机构：电子科技大学更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 3篇微结构
  • 3篇光斑
  • 3篇分析软件
  • 3篇OCD
  • 3篇测试系统
  • 2篇平行光
  • 1篇图像化
  • 1篇微电子
  • 1篇显示技术
  • 1篇检测器
  • 1篇LEVENB...
  • 1篇尺寸测量

机构

  • 4篇电子科技大学

作者

  • 4篇杨小君
  • 3篇邓浩
  • 3篇陈树强

年份

  • 1篇2016
  • 3篇2014
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
基于微光斑平行光束的微结构关键尺寸OCD测试系统
该实用新型公开了一种基于微光斑平行光束的微结构关键尺寸OCD测试系统，包括光源、压缩透镜组、待测周期结构、检测器及数据处理器。光源激励出光斑直径大小为4.9-5.1mm的平行光，该光束通过压缩透镜组被压缩为直径为49-5...
陈树强杨小君邓浩
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基于微光斑平行光束的微结构关键尺寸OCD测试系统
该发明公开了一种基于微光斑平行光束的微结构关键尺寸OCD测试系统，包括光源、压缩透镜组、待测周期结构、检测器及数据处理器。光源激励出光斑直径大小为4.9-5.1mm的平行光，该光束通过压缩透镜组被压缩为直径为49-51μ...
陈树强杨小君邓浩
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微电子关键尺寸测试系统的优化分析及图像化显示技术
由于半导体技术的高速腾飞,更深的技术节点在工艺过程,如各种材料和结构的氧化、掺杂、刻蚀、沉积等,以及关键尺寸(Critical Dimensions)的测量中得以不断地发展和推进。但是由于推进更深的技术节点的难度加上新材...
杨小君
关键词：微电子LEVENBERG-MARQUARDT算法
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基于微光斑平行光束的微结构关键尺寸OCD测试系统
该发明公开了一种基于微光斑平行光束的微结构关键尺寸OCD测试系统，包括光源、压缩透镜组、待测周期结构、检测器及数据处理器。光源激励出光斑直径大小为4.9‑5.1mm的平行光，该光束通过压缩透镜组被压缩为直径为49‑51μ...
陈树强杨小君邓浩
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