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陈旭辉

作品数：4 被引量：0H指数：0
供职机构：西北工业大学更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇中文专利

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 2篇淀积
  • 2篇真空度检测
  • 2篇微机电系统
  • 2篇锚点
  • 2篇回路
  • 2篇机电系统
  • 2篇减法器
  • 2篇闭环
  • 2篇闭环回路
  • 2篇SOI
  • 2篇电系统
  • 1篇低通
  • 1篇低通滤波
  • 1篇信号
  • 1篇有效值
  • 1篇振动
  • 1篇正弦信号
  • 1篇散热
  • 1篇数模
  • 1篇数模转换

机构

  • 4篇西北工业大学

作者

  • 4篇苑伟政
  • 4篇王伟康
  • 4篇任森
  • 4篇孙小东
  • 4篇陈旭辉
  • 2篇乔大勇
  • 2篇程波

年份

  • 1篇2017
  • 1篇2016
  • 1篇2015
  • 1篇2014
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
一种SOI微型皮拉尼计及其制作方法
本发明公开了一种微型皮拉尼计，属于微机电系统封装的真空度检测领域。该皮拉尼计的硅结构在器件层8上制作，主要包括加热和散热两部分结构；加热结构由两根呈周期梯形弯曲的加热体5组成；所述散热结构由三部分组成：侧面两个相互对称的...
苑伟政王伟康任森孙小东陈旭辉
文献传递
一种硅谐振压力传感器闭环控制电路及实现方法
本发明提出了一种硅谐振压力传感器闭环控制电路及实现方法，谐振器1的振动产生变化电容信号后分为两路，一路经过第一数字模块4、第二数字模块5、减法器模块6、参考数字信号7、数字比例控制器8形成放大的负反馈误差控制量；另一路经...
苑伟政陈旭辉任森孙小东乔大勇王伟康程波
一种硅谐振压力传感器闭环控制电路及实现方法
本发明提出了一种硅谐振压力传感器闭环控制电路及实现方法，谐振器1的振动产生变化电容信号后分为两路，一路经过第一数字模块4、第二数字模块5、减法器模块6、参考数字信号7、数字比例控制器8形成放大的负反馈误差控制量；另一路经...
苑伟政陈旭辉任森孙小东乔大勇王伟康程波
文献传递
一种SOI微型皮拉尼计及其制作方法
本发明公开了一种微型皮拉尼计，属于微机电系统封装的真空度检测领域。该皮拉尼计的硅结构在器件层8上制作，主要包括加热和散热两部分结构；加热结构由两根呈周期梯形弯曲的加热体5组成；所述散热结构由三部分组成：侧面两个相互对称的...
苑伟政王伟康任森孙小东陈旭辉
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