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文献类型

  • 3篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇电机
  • 1篇电路
  • 1篇电位器
  • 1篇眼底
  • 1篇眼底照相
  • 1篇眼底照相机
  • 1篇液滴
  • 1篇医学成像
  • 1篇仪表
  • 1篇仪表放大器
  • 1篇音圈电机
  • 1篇运算放大器
  • 1篇瞳孔
  • 1篇图像
  • 1篇图像采集
  • 1篇前置放大电路
  • 1篇重复频率
  • 1篇目镜
  • 1篇机械运动
  • 1篇极紫外

机构

  • 4篇中国科学院上...
  • 1篇上海交通大学...
  • 1篇中国科学院大...

作者

  • 4篇袁丰华
  • 3篇李中梁
  • 2篇王向朝
  • 2篇范李立
  • 1篇袁春晓
  • 1篇孙海轶
  • 1篇步扬
  • 1篇王成
  • 1篇冷雨欣
  • 1篇邹多宏
  • 1篇王关德
  • 1篇徐静浩

传媒

  • 1篇激光与光电子...

年份

  • 1篇2024
  • 1篇2023
  • 1篇2017
  • 1篇2014
4 条 记 录,以下是 1-4
排序方式:
图像采集结构及比色仪
本实用新型提供一种图像采集结构及比色仪,图像采集结构包括:图像采集组件;定位底座,定位底座上设置有预处理模块,预处理模块与图像采集组件相连,用以对从图像传感器传输过来的图像信号进行预处理;伸缩组件,伸缩组件的一端设置于定...
邹多宏袁丰华刘小涵步扬谢千阳王丽
100 kHz重复频率锡液滴靶研究被引量:2
2023年
锡液滴发生器是激光等离子体型极紫外(LPP-EUV)光刻光源中最重要的核心部件之一。光刻光源要求锡液滴靶具备高重复频率、小直径且稳定性好的特性。综述了中国科学院上海光学精密机械研究所EUV光源团队近年来在液滴发生器方面的研究进展,包括液滴直径、重复频率、间距、位置和稳定性等。现阶段研制的锡液滴发生器,在100 kHz频率下喷射的锡液滴直径约为40μm,间距约为230μm,工作时长接近5 h。锡液滴在10 s短时间内,竖直和水平方向的位置不稳定性分别约为2μm和1μm。未来锡液滴的可用性性能(如液滴直径、工作时长和长时间的位置稳定性)还需进一步提升。
孙海轶王关德李学红彭凯伦邹家杰彭宇杰王成冷雨欣徐静浩范李立袁丰华李中梁步扬王天泽张子怡新刚林楠
关键词:极紫外
光电二极管前置放大电路
一种光电二极管前置放大电路,其特点在于:由光电转换模块、仪表放大模块和电压跟随模块组成,所述光电转换模块由光电二极管、电阻、第一电容、稳压源组成,所述仪表放大模块由仪表放大器、电位器、第二电容、第三电容、第一电源组成,所...
袁丰华王向朝李中梁
文献传递
照明主光线共光路的手持式眼底照相机
一种照明主光线共光路的手持式眼底照相机,包括:主机和镜头;所述的镜头包括目镜、光源模块、成像透镜模块、镜头卡环、镜筒,所述的光源模块由光源组件和光源切换机构组成;所述的光源组件在瞄准眼底的时候红外光照亮眼底,拍照的时候切...
范李立李中梁王向朝袁春晓袁丰华
文献传递
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