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袁丰华
作品数:
4
被引量:2
H指数:1
供职机构:
中国科学院上海光学精密机械研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
李中梁
中国科学院上海光学精密机械研究...
范李立
中国科学院上海光学精密机械研究...
王向朝
中国科学院上海光学精密机械研究...
徐静浩
中国科学院上海光学精密机械研究...
王关德
中国科学院上海光学精密机械研究...
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作者
4篇
袁丰华
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李中梁
2篇
王向朝
2篇
范李立
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袁春晓
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孙海轶
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步扬
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王成
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冷雨欣
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邹多宏
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徐静浩
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激光与光电子...
年份
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2023
1篇
2017
1篇
2014
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图像采集结构及比色仪
本实用新型提供一种图像采集结构及比色仪,图像采集结构包括:图像采集组件;定位底座,定位底座上设置有预处理模块,预处理模块与图像采集组件相连,用以对从图像传感器传输过来的图像信号进行预处理;伸缩组件,伸缩组件的一端设置于定...
邹多宏
袁丰华
刘小涵
步扬
谢千阳
王丽
100 kHz重复频率锡液滴靶研究
被引量:2
2023年
锡液滴发生器是激光等离子体型极紫外(LPP-EUV)光刻光源中最重要的核心部件之一。光刻光源要求锡液滴靶具备高重复频率、小直径且稳定性好的特性。综述了中国科学院上海光学精密机械研究所EUV光源团队近年来在液滴发生器方面的研究进展,包括液滴直径、重复频率、间距、位置和稳定性等。现阶段研制的锡液滴发生器,在100 kHz频率下喷射的锡液滴直径约为40μm,间距约为230μm,工作时长接近5 h。锡液滴在10 s短时间内,竖直和水平方向的位置不稳定性分别约为2μm和1μm。未来锡液滴的可用性性能(如液滴直径、工作时长和长时间的位置稳定性)还需进一步提升。
孙海轶
王关德
李学红
彭凯伦
邹家杰
彭宇杰
王成
冷雨欣
徐静浩
范李立
袁丰华
李中梁
步扬
王天泽
张子怡
新刚
林楠
关键词:
极紫外
光电二极管前置放大电路
一种光电二极管前置放大电路,其特点在于:由光电转换模块、仪表放大模块和电压跟随模块组成,所述光电转换模块由光电二极管、电阻、第一电容、稳压源组成,所述仪表放大模块由仪表放大器、电位器、第二电容、第三电容、第一电源组成,所...
袁丰华
王向朝
李中梁
文献传递
照明主光线共光路的手持式眼底照相机
一种照明主光线共光路的手持式眼底照相机,包括:主机和镜头;所述的镜头包括目镜、光源模块、成像透镜模块、镜头卡环、镜筒,所述的光源模块由光源组件和光源切换机构组成;所述的光源组件在瞄准眼底的时候红外光照亮眼底,拍照的时候切...
范李立
李中梁
王向朝
袁春晓
袁丰华
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