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陈伯双

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：哈尔滨工业大学深圳研究生院更多>>
相关领域：一般工业技术自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇学位论文
  • 1篇会议论文

领域

  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇三维形貌
  • 1篇面粗糙度
  • 1篇隔震
  • 1篇半导体
  • 1篇表面粗糙度
  • 1篇表面粗糙度测...
  • 1篇粗糙度
  • 1篇粗糙度测量

机构

  • 2篇哈尔滨工业大...

作者

  • 2篇陈伯双
  • 1篇杨彦甫
  • 1篇姚勇

传媒

  • 1篇第七届高性能...

年份

  • 1篇2015
  • 1篇2013
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
微观表面三维形貌检测系统的研究
随着表面加工技术和三维形貌检测技术的不断发展，对表面加工精度和形貌检测精度要求越来越高，而传统的检测技术已经不能满足这样的需求，基于光学干涉原理的检测具有无损伤、精度高的优点，具有巨大的发展前景和市场前景，目前大多还处于...
陈伯双
文献传递
基于微分干涉的半导体薄膜元件表面粗糙度的精密检测
本文基于微分移相干涉检测基本原理、横向剪切原理,借鉴共光路干涉系统,自主搭建了一套有高测量精度、高检测效率的光学微分干涉三维形貌检测系统;根据检测系统的需求,选择合适的工业相机和电机系统组建图像采集及运动单元,实现了自动...
剡瑞姚勇杨彦甫陈伯双赵鹏程
关键词：表面粗糙度测量
文献传递
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