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郭鑫

作品数：33 被引量：2H指数：1
供职机构：西安交通大学更多>>
发文基金：中央高校基本科研业务费专项资金陕西省科学技术研究发展计划项目国家重大科学仪器设备开发专项更多>>
相关领域：自动化与计算机技术一般工业技术理学电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 28篇专利
  • 4篇学位论文
  • 1篇期刊文章

领域

  • 8篇自动化与计算...
  • 3篇一般工业技术
  • 2篇化学工程
  • 2篇电子电信
  • 2篇理学
  • 1篇医药卫生

主题

  • 17篇感器
  • 17篇传感
  • 17篇传感器
  • 11篇芯片
  • 11篇传感器芯片
  • 7篇敏感元件
  • 6篇微压
  • 6篇谐振梁
  • 6篇耐高温
  • 5篇外部电路
  • 4篇电缆
  • 4篇圆筒式
  • 4篇受拉
  • 4篇品质因子
  • 4篇自增强
  • 4篇惠斯通电桥
  • 4篇基底
  • 4篇恒定电流
  • 4篇高温电缆
  • 4篇H型

机构

  • 33篇西安交通大学
  • 1篇新疆交通职业...
  • 1篇学研究院

作者

  • 33篇郭鑫
  • 27篇赵立波
  • 24篇赵玉龙
  • 23篇蒋庄德
  • 16篇苑国英
  • 8篇许煜
  • 8篇王久洪
  • 6篇彭年才
  • 6篇卢德江
  • 6篇韩香广
  • 4篇王鸿雁
  • 4篇李支康
  • 4篇黄恩泽
  • 4篇张桂铭
  • 2篇孟夏薇
  • 2篇乔智霞
  • 2篇牛艳青
  • 2篇吴婧
  • 2篇蒋维乐
  • 2篇方续东

传媒

  • 1篇光学精密工程

年份

  • 2篇2023
  • 1篇2022
  • 1篇2021
  • 2篇2020
  • 4篇2019
  • 5篇2017
  • 4篇2015
  • 3篇2014
  • 2篇2013
  • 5篇2012
  • 2篇2011
  • 1篇2010
  • 1篇2008
共 33 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种双H型受压梁硅微谐振压力传感器芯片及其制备方法
本发明公开了一种双H型受压梁硅微谐振压力传感器芯片及其制备方法，传感器芯片包括谐振层和承压膜片，谐振层包括谐振梁和平衡梁，四根谐振梁组成一组H型梁，H型梁共有两组且对称设置，谐振梁端部均固定在平衡梁上，两根平衡梁通过谐振...
赵立波韩香广李雪娇郭鑫皇咪咪卢德江王久洪赵玉龙蒋庄德
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一种用于痕量生化物质检测的CMUT及其制备方法
本发明提供了一种用于痕量生化物质检测的CMUT及其制备方法，CMUT结构自上而下依次包括敏感识别材料层、作为上电极的重掺杂单晶硅层、二氧化硅绝缘层，以及二氧化硅支柱，所述二氧化硅支柱的中间部分形成有空腔，该空腔的下端被作...
赵立波李支康蒋庄德郭鑫张桂铭黄恩泽赵玉龙苑国英
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MEMS筒式耐高温超高压力传感器
MEMS筒式耐高温超高压力传感器，包括底座，硅梁敏感元件封装在底座上部承压筒的侧平面上，其测量岛与承压筒的侧面相接触，承压筒配置有高温转接端子，硅梁敏感元件的惠斯通电桥和高温转接端子连接，高温电缆线连接高温转接端子与外部...
赵立波郭鑫赵玉龙吴婧苑国英蒋庄德
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一种支撑梁式MEMS复合传感器及其制备和测试方法
本发明公开的一种支撑梁式MEMS流体热导率和热扩散系数传感器及其制备和测试方法，加热器设置在基底的上表面中央，焊盘位于基底上表面加热器的旁边，和加热器连接，绝缘层薄膜覆盖在加热器、焊盘和基底之上，绝缘层薄膜上在加热器两侧...
赵立波黄祥祥夏勇徐廷中郭鑫罗运运
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一种复合式MEMS耐高温超高压力传感器
一种复合式MEMS耐高温超高压力传感器，包括底座，硅梁敏感元件、高温转接板及外壳装配在底座上，硅梁敏感元件通过金丝引线、高温转接板连接到高温电缆线上并与外部电路连接，底座由承压弹性元件与基座结合，承压弹性元件的中间为圆膜...
赵立波郭鑫孟夏薇赵玉龙苑国英蒋庄德
一种基于CMUT的生化传感器及其制备方法
本发明提供了一种基于CMUT的生化传感器及其制备方法，传感器自上而下依次包括：敏感识别材料层、上电极、二氧化硅薄膜、硅支柱、下电极、二氧化硅绝缘层、硅基底。本发明金属下电极与硅基底完全电隔离，取代常规基于CMUT的生化传...
赵立波李支康蒋庄德张桂铭黄恩泽郭鑫赵玉龙
一种支撑梁式MEMS流体热导率和热扩散系数传感器及其制备和测试方法
本发明公开的一种支撑梁式MEMS流体热导率和热扩散系数传感器及其制备和测试方法，加热器设置在基底的上表面中央，焊盘位于基底上表面加热器的旁边，和加热器连接，绝缘层薄膜覆盖在加热器、焊盘和基底之上，绝缘层薄膜上在加热器两侧...
赵立波黄祥祥夏勇徐廷中郭鑫罗运运
一种飞灰熔渣固化成型造粒回收系统
本发明公开了一种飞灰熔渣固化成型造粒回收系统，包括熔融炉，熔融炉上部连接烟气引流通道的入口，烟气引流通道的出口位于熔渣造粒机上部，所述熔渣造粒机正下方布置快速冷却池，所述熔渣造粒机下方出口处周向布置一圈冷却水喷淋器，冷却...
牛艳青温丽萍郭鑫薛旭峰
一种双H型受拉梁硅微谐振压力传感器芯片及其制备方法
本发明公开了一种双H型受拉梁硅微谐振压力传感器芯片及其制备方法，包括谐振器和压力敏感膜，谐振器包括谐振梁和扭转梁，四根谐振梁组成一组H型梁，两组H型梁相对设置，相邻的两根谐振梁一端的延伸部连接至同一扭转梁，谐振梁另一端与...
赵立波韩香广李雪娇卢德江郭鑫王鸿雁吴永顺赵玉龙蒋庄德
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一种复合式MEMS耐高温超高压力传感器
一种复合式MEMS耐高温超高压力传感器，包括底座，硅梁敏感元件、高温转接板及外壳装配在底座上，硅梁敏感元件通过金丝引线、高温转接板连接到高温电缆线上并与外部电路连接，底座由承压弹性元件与基座结合，承压弹性元件的中间为圆膜...
赵立波郭鑫孟夏薇赵玉龙苑国英蒋庄德
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