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邱实
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
供职机构:
中国科学院上海天文台
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相关领域:
一般工业技术
自动化与计算机技术
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合作作者
张余进
中国科学院上海天文台
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中国科学院上...
作者
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张余进
1篇
邱实
传媒
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真空
年份
1篇
2007
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溅射离子泵开关电源的设计
被引量:1
2007年
针对溅射离子泵高压电源应具有的负阻特性,本文详细介绍了负阻性DC/DC开关电源控制电路的组成和工作原理。在此基础上,成功研制了一台输出电压根据真空系统气体压力连续自动调节,可短路工作的高压DC/DC开关电源。该电源具有外特性响应好、结构简单和可靠性高等特点。
张余进
邱实
关键词:
开关电源
溅射离子泵
负阻特性
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