许丽
- 作品数：2 被引量：4H指数：1
- 供职机构：山东皇明太阳能集团有限公司更多>>
- 相关领域：动力工程及工程热物理更多>>
- 采用真空磁控反应溅射和热水氧化法制备AlN_xO_y增透膜被引量：4
- 2011年
- 在3.2mm厚的低铁玻璃衬底上采用金属Al靶在溅射气体Ar和反应气体N2的混合气体中,真空磁控反应溅射沉积半透明的Al-AlN金属陶瓷薄膜。再将沉积该薄膜的玻璃试样浸入沸腾的去离子水中,经一定时间氧化后,制备成表面粗糙的AlN和Al2O3的陶瓷混合物增透膜AlNxOy。在3.2 mm厚的低铁玻璃上,溅射沉积厚度为120 nm的Al-AlN金属陶瓷薄膜,沸水氧化8 min,制备的单面增透膜AlNxOy试样的太阳透射比Te达93.5%,可见光透射比Tv达95.2%。制备的双面增透膜AlNxOy试样的Te,Tv进一步提高,Te高达95.6%,与未镀膜玻璃衬底的90.4%相比,增加了5.2%;Tv高达97.0%,与玻璃衬底的91.6%相比,增加了5.4%。
- 池华敬熊凯郭帅许丽王双陈革章其初
- 关键词：增透膜反应溅射金属陶瓷ALNAL2O3
- 增透膜玻璃
- 本实用新型提供了一种增透膜玻璃，包括低铁玻璃基层，所述低铁玻璃基层的表面覆盖氮氧化铝膜层，膜层表面粗糙，厚度为50-500nm。本实用新型采用了在低铁玻璃基层的表面覆盖氮氧化铝膜层的结构，增加了本实用新型玻璃的太阳透射比...
- 池华敬许丽苗建朋王双陈革章其初
- 文献传递
