石文尚
- 作品数：3 被引量：0H指数：0
- 供职机构：南京邮电大学更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 考虑漏电容的平板式微执行器Pull-in机理分析
- 基于MEMS/(微机电系统/)技术的微传感器、微执行器得到了快速发展,在其各种驱动方式中,静电驱动占有重要地位。Pull-in现象是静电驱动的微执行器的一个重要现象,已经引起了广泛的重视和研究。Pull-in现象有利有弊...
- 石文尚
- 关键词：微机电系统有限元分析
- 文献传递
- 平板式静电微执行器的静态pull-in现象
- 基于平板式静电微执行器的模型,分析了其pull-in现象,并且在考虑边缘效应的情况下,即根据考虑电容边缘效应的理论模型,推导出平板式静电微执行器的pull-in参数。然后用有限元分析软件ANSYS建模,得到其pull-i...
- 石文尚方玉明朱文俊
- 关键词：有限元分析
- 文献传递
- 一种扭臂式静电微执行器的pull-in现象分析
- 基于扭臂式微驱动器模型,根据边缘电容效应不可忽略的特点,推导出计及边缘效应的电容表达式,利用能量法求解扭臂式微执行器的pull-in参数计算公式。对于这种不满足平行板简化计算条件的模型,计及边缘效应计算式具有更好的准确性...
- 朱文俊方玉明石文尚
- 关键词：微执行器静电计
- 文献传递
