王钻开
- 作品数：10 被引量：37H指数：5
- 供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
- 发文基金：国家重点基础研究发展计划中国科学院知识创新工程重要方向项目国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术理学一般工业技术更多>>
- 微桥法研究低应力氮化硅力学特性及误差分析
- 2003年
- 用微机械悬桥法研究低应力氮化硅薄膜的力学性能。对符合弹性验则的微桥进行测试 ,在考虑衬底变形的基础上 ,利用最小二乘法对其载荷—挠度曲线进行拟合 ,得到低应力lowpressurechemicalvapourdeposited (LPCVD)氮化硅的弹性模量为 3 14 .0GPa± 2 9.2GPa ,残余应力为 2 65 .0MPa± 3 4.1MPa。探讨梯形横截面对弯曲强度计算和破坏发生位置的影响 ,得到低应力氮化硅的弯曲强度为 6.9GPa± 1.1GPa。对微桥法测量误差的分析表明 ,衬底变形。
- 宗登刚王钻开陆德仁王聪和
- 关键词：微电子机械系统氮化硅残余应力误差分析
- 一种高固有频率的量程可达200万m/s<Sup>2</Sup>的微机械加速度传感器
- 本发明涉及一种高固有频率的量程可达200万m/s<Sup>2</Sup>的微机械加速度传感器，其特征在于它是由压敏电阻、敏感梁、锚区、主梁、质量块、锚区与敏感梁之间的过渡结构及下盖板组成；敏感梁和中间主梁采用串联结构，主...
- 王钻开陆德仁黄全平
- 文献传递
- 一种量程可达200万m/s<Sup>2</Sup>的微机械加速度传感器
- 本实用新型涉及一种量程可达200万m/s<Sup>2</Sup>以上的微机械加速度传感器。其特征在于由锚区、敏感薄板、质量块、压敏电阻、框架及上、下玻璃盖板构成；由锚区、敏感薄板、质量块、压敏电阻构成的敏感芯片封装在框架...
- 王钻开陆德仁黄全平
- 文献传递
- 微机械悬桥法研究氮化硅薄膜力学性能被引量：5
- 2003年
- 利用高精密纳米压入仪检测微机械悬桥的载荷-挠度曲线,来研究低应力LPCVD氮化硅薄膜的力学特性。通过大挠度理论分析,得到考虑了衬底变形对挠度有贡献的微桥挠度解析表达式。对于在加卸载过程中表现出完全弹性的微桥,利用最小二乘法对其挠度进行了拟合,从而得到杨氏模量、残余应力和弯曲强度等力学特性参数。低应力LPCVD氮化硅薄膜的研究结果:杨氏模量为(308.4±24.1)GPa,残余应力为(252.9±32.4)MPa,弯曲强度为(6.2±1.3)GPa。
- 宗登刚王钻开陆德仁王聪和陈刚
- 关键词：氮化硅薄膜力学性能杨氏模量残余应力
- 一种高固有频率的量程可达200万m/s<Sup>2</Sup>的微机械加速度传感器
- 本发明涉及一种高固有频率的量程可达200万m/s<Sup>2</Sup>的微机械加速度传感器，其特征在于它是由压敏电阻、敏感梁、锚区、主梁、质量块、锚区与敏感梁之间的过渡结构及下盖板组成；敏感梁和中间的主梁为层叠的位置关...
- 王钻开陆德仁黄金平
- 文献传递
- 压阻式高量程微加速度计的冲击校准被引量：8
- 2003年
- 采用体硅微机械加工技术和扩散技术,制作压阻式高量程微加速度计,设计量程为50000gn。芯片材料为单晶硅,采用双列扁平陶瓷封装。为了测量其动态灵敏度,使用Hopkinson杆在约40000gn的加速度水平下进行了冲击校准。在电桥电压为6.33V的情况下,被测微加速度计的灵敏度为1.26μV/gn。
- 郇勇张泰华杨业敏王钻开陆德仁
- 关键词：微电子机械系统微加速度计校准芯片结构
- 微机械压阻式冲击加速度传感器研究
- 随着科技的发展,加速度传感器在工业应用中越来越得到广泛应用,比如设备的振动检测.传统的传感器往往很难满足上述要求,而微电子和微机械加工紧密结合的MEMS加速度传感器已经显示出了巨大的生命力.该论文主要针对微机械压阻式冲击...
- 王钻开
- 关键词：微电子机械系统压阻式封装
- 文献传递
- 一种高固有频率量程达200万m/s2的微机械加速度传感器
- 王钻开陆德仁黄全平
- 对于任何加速度传感器，频率和灵敏度是两个最重要的特性参数，在检测冲击加速度时，传感器自身有特别高的固有频率又有相当大的灵敏度就特别重要，这种器件不会把冲击过程中的高频成分放大，真实地将冲击加速度转换为电信号。该发明的目的...
- 关键词：
- 关键词：微机械
- 高量程加速度计的力学性能分析被引量：11
- 2002年
- 提出一种计算加速度计灵敏度和频率的改进方法。该方法在计算微结构的灵敏度和频率时考虑质量块的变形及梁的质量。得到的结果表明 ,当梁与质量块的厚度比变得较大时 ,梁的上表面的最大拉应力值不再等于最大压应力值。该方法计算得到的频率和忽略质量块变形与梁质量所得到的频率与ANSYS模拟相比 ,偏差由 90 %下降到 15 %。最后进行了静态测试 。
- 王钻开宗登刚陆德仁
- 关键词：加速度传感器微电子机械系统灵敏度
- 传感器固有频率和阻尼对冲击加速度检测的影响被引量：8
- 2003年
- 研究了硅微机械高g(g为重力加速度)加速度传感器的固有频率和阻尼特性对冲击响应的影响。传感器固有频率低,阻尼小时,冲击加速度的响应波形包含传感器共振波,造成测量干扰。采用有适当阻尼,固有频率高的双质量块结构高g加速度传感器,进行接近2万g加速度峰值的一系列落杆冲击实验,都未见共振响应。同样的传感器制作成欠阻尼,进行实验时,发现共振干扰。该实验所用的传感器芯片面积小,固有频率高,调整该结构的弹性梁厚度,可制作量程为2×103g～2×105g的加速度传感器。
- 王钻开陆德仁
- 关键词：硅微机械固有频率阻尼加速度传感器冲击响应
