齐天华
- 作品数:2 被引量:9H指数:2
- 供职机构:厦门大学物理与机电工程学院机电工程系更多>>
- 相关领域:自动化与计算机技术更多>>
- 阵列式脉象采集探头的设计被引量:2
- 2005年
- 提出了一种用微机电系统技术(MEMS)应变传感器阵列探头客观细腻地采集人体脉象的新思路。探头采用直接腐蚀出电阻条的技术,具有工艺简单、成本低廉、电阻变化率高、工作可靠等优点。对设计进行了理论计算和优化,并用有限元分析软件ANSYS8.0进行了结构和电耦合场仿真,模拟悬臂梁端点位移对电阻变化的影响。当悬臂梁末端位移变化为50μm时,电阻变化率模拟结果为18.84%,与理论计算值19.67%符合得很好。
- 齐天华高文秀
- 关键词:脉象压阻效应微机电系统ANSYS仿真
- 阵列式脉象传感器的设计与制作被引量:7
- 2005年
- 提出了一种用微机电系统(MEMS)技术应变传感器阵列探头客观细腻地采集人体脉象的新思路。探头采用直接腐蚀出电阻条的技术,具有工艺简单、成本低廉、电阻变化率高、工作可靠等优点。对设计进行了理论计算和优化,并用有限元分析软件ANSYS8.0进行了结构和电耦合场仿真,模拟悬臂梁端点位移对电阻变化的影响。当悬臂梁末端位移变化为50μm时,电阻变化率模拟结果为18.84%,与理论计算值19.67%符合得很好。
- 齐天华刘继伟高文秀
- 关键词:脉象压阻效应微机电系统ANSYS仿真