根据磁悬浮轴承无直接接触摩擦与磨损的特点,设计了一种精密移动平台。移动平台在直线电机的无接触驱动和Proportional Integral Differential(简称PID)控制器的控制下,沿轴杆进行无接触摩擦阻尼的直线运动及精确定位。仿真试验结果证明,磁悬浮无阻尼结构有利于改善平台的位移输出动态性能以及提高运动控制精度;改变直线电机的性能参数及移动平台的固有振荡频率等,均可以改变平台位移输出的动态性能。精度分析表明,应用PID控制技术,控制系统本身引起的位移误差小于0.01μm,可实现0.5μm或0.1μm的位移控制精度。
