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陈红
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供职机构:
信息产业部
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合作作者
杨国渝
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用于真空微电子压力传感器批量化生产隔离的技术
在阳极膜上进行各项异性腐蚀硅深槽,采用外延方式生长多晶硅,进行填槽,再对表面进行化学机械抛光,实现了槽隔离的批量化生产.
杨国渝
冯建
张正元
陈红
关键词:
多晶硅
抛光
压力传感器
真空微电子
文献传递
接入网用光纤带状光缆
黄继东
杨春梅
沈慈来
陈红
汪波
该项目采用光纤带代替单根光纤作为基本的光单元,提高了光缆中光纤的集装密度。该光缆采取中心束管式(216芯以下)和层绞式(216芯以上)结构,最大芯数可达1000芯。其具有光纤集装密度高、芯数大、易于分路和接续等优点。
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接入网
光纤带
光缆
中心束管式
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