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相位调制激光干涉空气折射率测量方法及其应用研究: 以激光波长为长度基准的激光干涉位移测量技术是目前位移测量领域的主流技术,广泛应用于各种超精密加工、半导体集成电路芯片制造等高端装备领域。由于激光干涉位移测量大多在空气中进行,而激光在空气中的波长值与空气折射率密切相关,因...; 杨晔; 关键词：相位调制激光干涉空气折射率

一种高精度激光调制干涉空气折射率绝对测量装置及方法: 本发明公开了一种高精度激光调制干涉空气折射率绝对测量装置及方法。单频激光器输出的激光经光隔离和正弦相位调制后，由侧向位移分光镜分成两平行光束，射向正弦相位调制干涉仪获得测量和补偿干涉信号，由两个探测器接收；长度可变真空腔...; 严利平陈本永杨晔

远距离目标激光精密跟踪控制系统设计: 2024年; 针对目前激光跟踪测量技术中测量距离与跟踪控制参数的精确匹配问题,研制了一套基于距离自适应跟踪策略的远距离目标激光精密跟踪控制系统。根据不同距离处所标定的电机跟踪控制参数,构建了基于最小二乘法多项式拟合的距离自适应参数模型,获得了标定距离范围内与任意距离匹配的跟踪控制参数,从而实现了远距离目标的稳定跟踪。对所研制系统装置进行了跟踪控制参数标定实验、圆轨迹跟踪性能验证实验及目标轨迹坐标测量实验。实验结果表明,所设计跟踪系统可实现50 m范围内运动目标的稳定跟踪测量,且跟踪速度均不低于500 mm/s,可应用于远距离动态目标的精密跟踪测量。; 陈本永赵梓辰裘天峰杨晔严利平谢建东楼盈天; 关键词：激光跟踪自适应控制最小二乘法

激光合成波长干涉波长测量方法与系统: 严利平陈本永张世华张恩政杨晔; 激光波长是作为几何量测量的标尺，几何量测量溯源至“米”定义是长度精密测量的基础问题，因此精确测量与校准激光器的激光波长是保证几何量测量准确性和量值溯源的关键，有着重要的科学意义和应用价值，是科学技术发展中的一项共性基础技...; 关键词：; 关键词：几何量测量

基于内调制的光纤干涉振动测量系统研究: 2025年; 研制了一种基于内调制的光纤干涉振动测量系统。对分布式反馈激光器(DFB)进行电流内调制,产生正弦频率调制单频激光。经光纤环形器与光纤微探头输出测量光对振动源进行干涉测量,返回的测量光与光纤微探头自反射的参考光进行干涉获得相位生成载波(PGC)干涉信号。基于可编程逻辑门阵列(FPGA)数字信号处理平台设计了PGC干涉信号解调算法,通过5参数椭圆拟合提取附加光强调制等因素引入的误差系数,对相位非线性误差进行补偿,实现振动位移的高精度测量,并采用快速傅里叶变换(FFT)算法对振动位移频谱进行分析。进行了理论分析并搭建了振动测量系统,开展了干涉信号解调实验、位移测量实验和振动测量实验。实验结果表明,该系统的振动频率范围覆盖1142 Hz;在10μm的位移步进实验中,测量结果的平均偏差为0.173μm;振动频率的分辨力为1.221 Hz,谐波失真率小于1.36%;有望应用于精密振动测量领域。; 贾鹏谢建东楼盈天杨晔杨涛; 关键词：振动测量微探头

一种高精度激光调制干涉空气折射率绝对测量装置及方法: 本发明公开了一种高精度激光调制干涉空气折射率绝对测量装置及方法。单频激光器输出的激光经光隔离和正弦相位调制后，由侧向位移分光镜分成两平行光束，射向正弦相位调制干涉仪获得测量和补偿干涉信号，由两个探测器接收；长度可变真空腔...; 严利平陈本永杨晔; 文献传递

灰色系统理论及在国民经济中的应用研究: 系统科学是20世纪人类最伟大的科学成就之一，而一般系统理论是系统科学的基础理论。其中的数学一般系统理论致力于对输入输出系统的控制、决策等的研究，并提供了相当完善和精确的概念、结构及相关定理。灰色系统理论就是一...; 杨晔; 关键词：经济预测; 文献传递

基于长度可变真空腔的激光干涉空气折射率测量误差分析与补偿被引量：6: 2021年; 为了解决基于长度可变真空腔的激光干涉空气折射率测量中透光窗片倾斜和真空腔内残余气压对测量精度的影响,本文分析了真空腔拉伸过程中透光窗片倾斜引入的误差,并提出了透光窗片倾斜误差检测和补偿方法,同时研究了真空腔内残余气压的测量和补偿方法。为了验证所提出方法的可行性,搭建了基于长度可变真空腔的激光干涉空气折射率测量系统,测量结果与Edlén公式结果进行对比。实验结果显示,本系统测量结果与Edlén公式结果具有较好的一致性,在2.2 h和20 min内,两者之间偏差的标准偏差分别为2.34×10^(-8)和2.89×10^(-8),这表明本文所提出的空气折射率测量误差补偿方法是可行和有效的,可应用于激光干涉精密位移测量中空气折射率的实时补偿。; 杨晔严利平陈本永楼盈天; 关键词：激光干涉误差补偿

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杨晔