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杜信荣

作品数：5 被引量：0H指数：0
供职机构：山东大学更多>>
相关领域：电子电信化学工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇专利
  • 2篇科技成果

领域

  • 1篇化学工程
  • 1篇电子电信

主题

  • 2篇电子工业
  • 2篇乙醇
  • 2篇乙醇胺
  • 2篇溶剂油
  • 2篇清洗剂
  • 2篇壬基酚
  • 2篇烷基醇酰胺
  • 2篇硅片
  • 2篇硅片表面
  • 2篇半导体
  • 2篇醇胺
  • 1篇电子清洗
  • 1篇清洗工艺
  • 1篇清洗技术
  • 1篇专用洗涤剂
  • 1篇洗涤
  • 1篇洗涤剂
  • 1篇灭菌
  • 1篇灭菌处理
  • 1篇化学净化

机构

  • 5篇山东大学

作者

  • 5篇杜信荣
  • 4篇马洪磊
  • 4篇宗福建
  • 3篇于新好
  • 2篇计峰
  • 2篇曹宝成
  • 2篇李玉香
  • 2篇刘可辛
  • 1篇刘万里
  • 1篇刘建强
  • 1篇马瑾
  • 1篇李强
  • 1篇赵丽丽
  • 1篇蒋志勇
  • 1篇罗升旭
  • 1篇肖洪地

年份

  • 1篇2005
  • 1篇2001
  • 1篇1999
  • 1篇1996
  • 1篇1994
共 5 条 记 录，以下是 1-5
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排序方式：
半导体工业用清洗剂
本发明涉及一种清洗半导体硅片表面上黑蜡、松香和石蜡混合物的清洗剂，其组成为3-5%的壬基酚聚氧乙烯醚、4-6%的脂肪醇聚氧乙烯醚、3-5%的N，N′二羟乙基十三酰胺或十二烷基醇酰胺磷酸酯钠、2-4%的三聚磷酸钠、0-5%...
宗福建杜信荣马洪磊
文献传递
一种用于电子工业的清洗剂及其制备方法
一种用于电子工业的清洗剂及其制备方法，属于化学清洗技术领域。本发明清洗剂一套两个型号I和II，选用中性表面活性剂，添加适量助剂，与超纯去离子水配成均匀透明的液体，复配温度50-90℃，PH值为6.4-8.5，经灭菌处理，...
罗升旭马洪垒刘可辛申英魁于新好杜信荣曹宝成
文献传递
半导体工业用清洗剂
本发明涉及一种清洗半导体硅片表面上黑蜡、松香和石蜡混合物的清洗剂，其组成为3-5％的壬基酚聚氧乙烯醚、4-6％的脂肪醇聚氧乙烯醚、3-5％的N，N′二羟乙基十三酰胺或十二烷基醇酰胺磷酸脂钠、2-4％的三聚磷酸钠、0-5％...
宗福建杜信荣马洪磊
文献传递
电子工业中替代ODS物质清洗技术研究
李玉香刘建强马洪磊曹宝成宗福建计峰李强于新好刘万里赵丽丽蒋志勇马瑾肖洪地杜信荣
“电子工业中替代ODS物质清洗技术研究”是“九五”国家重点科技攻关专题（专题合同编号：97-778-02-01）。电子工业中广泛使用的氟里昂等ODS物质严惩破环地球高空的臭氧层，是国际上限期停止生产和使用的物质。山东大学...
关键词：
关键词：清洗技术
新型电子清洗剂DZ-4与清洗工艺
宗福建马洪磊杜信荣李玉香计峰于新好刘可辛赵丽丽等
一、成果内容简介、关键技术、技术经济指标：新型电子清洗剂DZ-4及清洗工艺主要用于清洗半导体硅片上的黑蜡、松香和石蜡混合物。传统的半导体清洗工艺通常使用苯、甲苯、三氯乙烯、二氯甲烷等有机溶剂清洗黑蜡以及松香和石蜡混合物，...
关键词：
关键词：化学净化
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