2024年11月20日
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李缙
作品数:
4
被引量:5
H指数:2
供职机构:
上海材料研究所
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相关领域:
理学
电子电信
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合作作者
吴正亮
中国科学院上海光学精密机械研究...
赵国珍
上海材料研究所
郑隽
中国科学院上海光学精密机械研究...
席明霞
中国科学院上海光学精密机械研究...
武四新
中国科学院上海光学精密机械研究...
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李缙
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’94秋季中...
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1篇
1995
1篇
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反应脉冲激光淀积硫化铅膜的SEM和XPS研究
1997年
以扫描电镜(SEM)和X射线光电子能谱(XPS)等多种测试手段研究分析了用反应脉冲激光淀积技术制备的PbS薄膜。分析结果表明,利用该淀积方法可以得到附着力好、符合化学计量比的硫化铅薄膜。在环境气压p=1.33×103Pa,靶与基片间距d=20mm,基片温度t=100℃时淀积膜的质量较好。另外,本文对其淀积机制也作了较为详细的阐述。
席明霞
武四新
郑隽
吴正亮
李缙
赵国珍
曹基文
关键词:
激光淀积
C<,60>薄膜的准分子激光刻蚀及形貌分析
谢燕燕
李缙
关键词:
碳
激光技术
准分子激光化学反应淀积硫化物薄膜
被引量:3
1997年
提出了一种新的激光光化学三元反应体系,用于制备硫化铅薄膜。应用吸收光谱、扫描电镜和X射线光电子能谱等测试手段研究了膜的性质和组成,指出了该方法淀积硫化物薄膜的可行性。
席明霞
武四新
郑隽
郑隽
李缙
吴正亮
曹基文
关键词:
化学气相淀积
C_(60)薄膜的准分子激光刻蚀及形貌分析
被引量:2
1995年
报道了准分子XeCl(308nm)紫外激光刻蚀C60膜的实验研究及对刻蚀薄膜的形貌分析。基于形貌分析的结果提出其刻蚀机理。
谢燕燕
吴正亮
宁东
楼祺洪
李缙
曹基文
关键词:
富勒烯
激光刻蚀
碳60
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