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李爱东

作品数：129 被引量：35H指数：3
供职机构：南京大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家科技重大专项国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：一般工业技术电子电信自动化与计算机技术电气工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 108篇专利
  • 10篇期刊文章
  • 9篇会议论文
  • 1篇学位论文
  • 1篇科技成果

领域

  • 14篇一般工业技术
  • 11篇电子电信
  • 9篇自动化与计算...
  • 7篇电气工程
  • 5篇理学
  • 3篇金属学及工艺
  • 3篇机械工程
  • 2篇文化科学

主题

  • 34篇纳米
  • 16篇铁电
  • 16篇介质
  • 16篇介质薄膜
  • 16篇衬底
  • 14篇氧化物薄膜
  • 14篇原子层沉积
  • 13篇无机
  • 13篇金属
  • 12篇退火
  • 11篇铁电薄膜
  • 11篇SUB
  • 10篇栅介质
  • 10篇微电子
  • 10篇微电子工艺
  • 10篇感器
  • 10篇传感
  • 10篇传感器
  • 9篇存储器
  • 8篇电学性能

机构

  • 129篇南京大学
  • 1篇东南大学
  • 1篇南京航空航天...
  • 1篇江苏微导纳米...

作者

  • 129篇李爱东
  • 110篇吴迪
  • 33篇闵乃本
  • 28篇曹燕强
  • 17篇刘治国
  • 14篇孔继周
  • 12篇刘晓杰
  • 11篇李学飞
  • 11篇刘畅
  • 10篇龚佑品
  • 8篇翟海法
  • 7篇付盈盈
  • 6篇朱信华
  • 6篇于涛
  • 6篇邵起越
  • 5篇刘文超
  • 5篇胡安
  • 5篇谭静
  • 5篇王东生
  • 5篇陈延峰

传媒

  • 2篇无机材料学报
  • 2篇微纳电子技术
  • 1篇哈尔滨理工大...
  • 1篇中国大学教学
  • 1篇物理
  • 1篇功能材料
  • 1篇电子显微学报
  • 1篇电子器件
  • 1篇2003年第...
  • 1篇第二届中国研...
  • 1篇第十一次全国...
  • 1篇2010(第...

年份

  • 2篇2025
  • 3篇2024
  • 5篇2023
  • 3篇2022
  • 10篇2021
  • 3篇2020
  • 9篇2019
  • 4篇2018
  • 4篇2017
  • 3篇2016
  • 3篇2015
  • 4篇2014
  • 6篇2013
  • 11篇2012
  • 11篇2011
  • 8篇2010
  • 5篇2009
  • 8篇2008
  • 5篇2007
  • 2篇2006
共 129 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种基于三元半导体金属氧化物的复合薄膜湿度传感器及其制备方法
本发明公开了一种基于三元半导体金属氧化物的复合薄膜湿度传感器及其制备方法，属于半导体传感器领域，本发明在绝缘衬底上利用原子层沉积技术制备Sn‑Ti‑Zn‑O三元半导体金属氧化物薄膜，在无需贵金属催化剂辅助情况下，获得灵敏...
李爱东王晨张帅吴迪
一种高性能析氧反应复合电催化剂及其制备方法
本发明公开了一种高性能析氧反应复合电催化剂及其制备方法，属于电催化材料制备领域，解决了在三维多孔复杂衬底（泡沫镍）很难实现RuO<SUB>2</SUB>纳米颗粒的均匀负载与尺寸的精准调控，由此影响所制备电催化剂的性能与重...
李爱东黄悦刘宇贾瓦德·阿里·沙阿·赛义德吴迪
一种超高密度单层纳米晶存储器的制备方法
本发明公开了一种超高密度单层纳米晶存储器的制备方法，先用ALD方法在干净的半导体衬底上生长一层3~10nm厚的高介电隧穿层，形成高介电薄膜；接着将3～8nm粒径可控、单分散好的金属纳米颗粒浸渍涂覆或旋涂在高介电薄膜上，自...
刘晓杰李爱东高墨昀李学飞吴迪
文献传递
等离子体增强原子层沉积原理与应用被引量：7
2012年
等离子体增强原子层沉积(PEALD)是一种低温制备高质量超薄薄膜的有效手段,近年来正受到工业界和学术界广泛的关注。简要介绍了PEALD的发展历史和生长原理。描述了PEALD常见的三种设备构造:自由基增强原子层沉积、直接等离子体沉积和远程等离子体沉积,比较了它们的优缺点。着重评述了PEALD的特点,主要具有沉积温度低、前驱体和生长材料种类广、工艺控制灵活、薄膜性能优异等优势,但也面临着薄膜三维贴合性下降和等离子体损伤等挑战。列举了PEALD的一些重要应用,如在金属薄膜制备、铜互连阻挡层、高介电常数材料、薄膜封裹等领域的应用。最后展望了PEALD的发展前景。
曹燕强李爱东
关键词：等离子体金属薄膜高介电材料
新型工科研究生课程体系建设探索--以南京大学现代应用与工程学院为例被引量：13
2018年
建设新型工科研究生课程体系意义重大,需要针对知识结构、授课方式、师资队伍和课程系统性等制约新型工科研究生培养的主要问题,结合国家要求、社会需求和国际经验确立建设目标,通过优化研究生培养方案、借鉴名校课程建设经验、打造国际水准教师团队、重视实践型课程教学、出版一流研究生教材等手段,构建体现学科特色、学科交叉、本硕博贯通、国际一流水准的新型工科研究生课程体系。
陈谦李爱东叶鹏飞
关键词：课程体系研究生培养
不挥发电荷存储器件的制备方法、所得不挥发电荷存储器件及其应用
本发明涉及不挥发电荷存储器件的制备方法、所得不挥发电荷存储器件及其应用。所述不挥发电荷存储器件的制备方法，具体步骤如下：a)用原子层化学气相沉积方法在衬底表面沉积Al<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub>，形...
汤振杰刘治国殷江夏奕东李爱东
文献传递
一种可见光催化剂BiNbO<Sub>4</Sub>、其制备方法及应用
本发明公开了一种可见光催化剂BiNbO<Sub>4</Sub>、其制备方法及应用，催化剂制备方法是：将铌前体和可溶性铋盐混合，搅拌后形成透明溶液；在60～80℃条件下搅拌，调节pH值到7～8；将调节好的溶液在80～250...
翟海法李爱东孔继周吴迪
文献传递
一种清洗钝化Ge衬底表面的方法
本发明公开了一种清洗钝化Ge衬底表面的方法，首先将锗衬底在丙酮、甲醇中依次超声清洗，然后将锗衬底移到5-20％(重量比)的氢溴酸水溶液中，室温下清洗3-15分钟，接着用高纯氮气吹干，再放入15-50％(重量比)的硫化铵水...
李学飞李爱东龚佑品翟海法李辉吴迪
文献传递
一种锌基无机-有机杂化纳米多孔分离膜的制备方法
本发明公开了一种锌基无机‑有机杂化纳米多孔分离膜的制备方法，属于分离膜材料领域，采用淋浴式分子层沉积技术，一步直接制备无机‑有机多孔纳米分离膜，无需任何后处理工艺，工艺简单，非常有利于大规模生产。本发明包括：准备杂化多孔...
李爱东刘畅曹燕强吴迪
文献传递
一种无水铪锆复合硝酸盐的合成方法及其在ALD沉积高介电复合氧化物薄膜中的应用
本发明公开了一种无水铪锆复合硝酸盐的合成方法及其在ALD方法沉积高介电复合氧化物薄膜中的应用，该合成方法首先是将发烟硝酸和五氧化二磷反应，产生的氮氧化物气体在低温下成为固态五氧化二氮；使固态五氧化二氮逐渐液化，伴随四氧化...
李爱东章闻奇黄柳英邵起越吴迪
文献传递
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