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唐海勇
作品数:
3
被引量:17
H指数:2
供职机构:
合肥工业大学仪器科学与光电工程学院
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相关领域:
机械工程
金属学及工艺
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合作作者
王凤伟
合肥工业大学仪器科学与光电工程...
邓善熙
合肥工业大学仪器科学与光电工程...
张辉
合肥工业大学仪器科学与光电工程...
曾汉平
合肥工业大学
张辉
合肥工业大学
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微纳米级差压式气针传感器的研制
被引量:13
2009年
提出一种基于差压式气路的微纳米级分辨力气针传感器的设计和工作原理,并对其静态特性进行了理论分析和实验研究。分析出不同输入压力、不同主喷嘴和测量喷嘴孔径对传感器灵敏度和线性范围的影响大小,从而可获得高灵敏度和大线性范围气针传感器的各参数值。该传感器的测量范围为80μm,分辨力为0.01μm,测量不确定度小于0.3μm,适合于高精度微纳米级非接触尺寸测量场合。本文研究内容可以为高精度气动传感器的设计提供理论和实验依据。
王凤伟
张辉
邓善熙
唐海勇
曾汉平
关键词:
气动测量
基于气动测量的球径球度测量系统研究
本文所研究的课题来源于国防军工计量'十五'计划重点项目:球径球度高准确度测量技术研究.主要进行球面气动测量系统的原理研究、气路及系统机构的设计.作者参阅了国内外相关文献,进行了大量地试验研究工作,完成了系统硬件的设计与研...
唐海勇
文献传递
微纳米级差压式气针传感器
微纳米级差压式气针传感器,其特征是设置差压式气路系统,包括来自气源的压缩空气依次经过滤器、进气阀和稳压器之后分成两支气路;一路是由主喷嘴和串联在其后并以被测面为挡板的测量喷嘴构成;另一路是以稳压器的稳压输出p<Sub>c...
张辉
王凤伟
邓善熙
唐海勇
曾汉平
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