周云
- 作品数：10 被引量：47H指数：5
- 供职机构：苏州大学信息光学工程研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划江苏省高校自然科学研究项目更多>>
- 相关领域：机械工程理学电子电信一般工业技术更多>>
- 用于制作衍射变色图形的激光干涉打标系统
- 2008年
- 研制出一种用于在光滑表面制作衍射变色图形的双光束干涉打标系统。采用分束器将高功率脉冲激光分成两束,并聚焦成双光束干涉光场,直接对工件表面进行单脉冲刻蚀,形成周期性微光栅结构。改变干涉光场的取向和干涉光之间的夹角,实现下一次刻蚀,最终实现大面积打标不同取向和不同空频的微光栅构成的衍射变色图形。在不同角度入射光照射下,衍射变色图形产生不同亮度的衍射变色效果。激光波长527nm,单脉冲能量1.0mJ@20ns,打标材料有不锈钢、氧化铬薄膜等,给出了激光干涉打标的实验结果。
- 周云张恒方宗豹陈林森
- 关键词：信息光学衍射
- 金属光栅型偏振彩色滤光片被引量：8
- 2011年
- 提出了一种基于一维亚波长金属光栅结构的具有偏振片和彩色滤光片功能的偏振型彩色滤光片。该金属光栅由基底、介质光栅层-介质层和金属光栅层等三部分组成。采用严格耦合波理论分析了介质光栅层-介质层和金属光栅层对光谱特性的影响,模拟结果表明高折射率介质层-介质光栅层的存在,能有效提高彩色滤光片的性能。给出三色彩色滤光片优化的结构参数,获得同时具有透射率大于72.6%的宽带滤波和偏振消光比大于40dB的光谱输出。其中红色滤光片的中心波长650nm,透射率极值72.60%;绿色滤光片的中心波长550nm,透射率极值79.86%;蓝色滤光片的中心波长445nm,透射率极值77.00%。通过循环利用TE偏振光,其透射率极大值可提高至117.8%。
- 叶燕周云张恒申溯陈林森
- 关键词：衍射金属光栅偏振彩色滤光片
- 基于金属-介质-金属结构的反射式彩色滤光片特性研究被引量：6
- 2012年
- 研究了金属-介质-金属结构在可见光波段的反射滤光特性。该结构由柔性透明基底、金属层、介质-金属纳米光栅结构组成。利用严格耦合波分析法(RCWA)模拟了TM偏振光入射时,亚波长介质-金属光栅的占宽比、周期和厚度等结构参数对反射光谱特性的影响。理论模拟结果表明:光栅的结构参数变化可改变反射波段,进而调节滤光颜色。在此基础上,进一步优化结构参数,得到了基于减色法的彩色滤光片结构,获得了青色、品红色和黄色三原色。该结构的主要优点是,当入射角在0～45°范围内变化时,反射光谱谷值位置和反射带宽基本不变。本文所提出的结构特别适合用于反射式彩色显示。
- 丁秋兰周云叶燕陈林森
- 关键词：光栅
- 用于光导板的亚微米光栅透射衍射特性分析被引量：1
- 2007年
- 提出了利用亚微米光栅制作光导板的方法,用严格耦合波理论计算分析了亚微米光栅从光密介质到光疏介质的1级透射衍射效率与光栅槽深的关系,讨论在满足基底全反射条件的入射角下,对应于红、绿、蓝(红光700mn,绿光555nm,蓝光465nm)三色光的亚微米光栅(0.651μm、0.516μm0、.433μm)在导波条件下的光场衍射特性,并用实验证明在导波条件下1级衍射效率与光栅槽深关系的可靠性,给出亚微米光栅型光导板的初始结构,进行误差分析。
- 叶燕浦东林周云陈林森
- 关键词：衍射效率
- 采用亚微米埋入式光栅的彩色滤光片被引量：2
- 2010年
- 为进一步提高彩色滤光片的色度性能和光能利用率,设计了一种宽带宽高透射率的亚微米埋入式光栅结构,该结构由PMMA基底、ZnS膜层、二维Al金属光栅和SiO2覆盖层等组成。采用严格耦合波理论分析了ZnS膜层厚度、周期、占空比等结构参数对透射光谱特性的影响,并在此基础上优化结构参数,获得了宽带宽滤波输出。当透射光谱中心波长为635,530和455nm时,相应透射效率分别为68%,78%和71%,半极大值处全宽(FWHM)约为100nm。计算结果表明,与其他应用于彩色滤光片的光栅结构相比,所设计光栅结构的中心光谱透射效率可提高19%,并有效减少了三色输出光谱之间的重叠区域,提高了彩色滤光片的色度性能。
- 叶燕周云张恒陈林森
- 关键词：彩色滤光片
- 亚波长光栅结构彩色滤光片研究被引量：14
- 2011年
- 研究了一维亚波长光栅结构彩色滤光片在可见光波段的透射光谱特性。该彩色滤光片由柔性透明基底、介质光栅和金属光栅构成。利用严格耦合波分析法(RCWA)模拟了占空比、介质光栅的厚度、金属光栅的厚度和周期等结构参数对彩色滤光片的透射光谱特性的影响,并在此基础上优化结构参数,设计出一种宽带宽、高透射效率且易于加工的彩色滤光片。该彩色滤光片带宽为85～100 nm,色纯度好;具有高达95%的偏振(TM)光透射效率;只需改变光栅的周期,就可获得针对R,G,B三色的透射光谱,降低了加工彩色滤光片的难度。与其他应用于彩色滤光片的光栅结构相比,所设计的彩色滤光片的中心光谱透射效率提高了12%,且减少了三色输出光谱之间的重叠区域,从而提高了彩色滤光片的色度性能,适合作为液晶平板显示中的滤光器件。
- 周云叶燕申溯方宗豹浦东林陈林森
- 关键词：光学器件滤光片光栅
- 带有高折射率介质层的金属光栅偏振器特性的研究被引量：12
- 2010年
- 研究了一种亚波长金属光栅偏振器在可见光波段的透射与消光特性。与传统亚波长光栅偏振器不同的是,通过在基底和光栅之间增加一层高折射率介质薄膜,提高了TM偏振光透射率和消光比。利用严格耦合波分析法(RCWA),模拟了高折射率介质层厚度、光栅占宽比对透射率和消光比的影响。计算结果表明,在整个可见光波段,合适的介质层厚度可使透射更加均匀并且当入射角在0～60°变化时,TM偏振光的透射率和消光比仍可分别达到79%和50 dB。这种带有高折射率介质层的亚波长金属光栅偏振器结构紧凑,性能优良,特别适合作为液晶平板显示中的偏振分光器件。
- 周云申溯叶燕浦东林陈林森
- 关键词：偏振器金属光栅
- 镍金属表面双光束激光干涉直写研究
- 2009年
- 利用波长为351nm的半导体抽运全固态脉冲激光器,采用双光束干涉方法,对金属镍板表面直接刻蚀形成微光栅结构的方法进行了实验研究.通过改变激光功率和激光脉冲数等实验参量,研究其对制备的微光栅结构槽形和一级衍射效率的影响.利用扫描电镜和原子力显微镜测量光栅槽形,测得光栅周期为1.25μm,光栅槽深为10～280nm,并测量了相应的衍射效率.发现当采用激光单脉冲能量为1.2mJ,采用10个脉冲加工时,测得槽深为280nm,一级衍射效率最高(18%)的微光栅结构.利用光栅的衍射理论对衍射效率变化进行了分析.该研究拓展了纳秒激光在加工微结构方面的应用,为在金属材料表面制作纳米压印模版提供了一种新方法.
- 张恒方宗豹吴智华周云陈林森
- 关键词：纳秒激光衍射效率刻蚀
- 纳秒激光刻蚀玻璃基质铬薄膜直写微光栅结构被引量：4
- 2009年
- 利用波长为351nm的半导体泵浦全固态脉冲激光器,采用双光束干涉方法,对蒸镀在石英玻璃衬底上的铬薄膜直接刻蚀形成微光栅结构的方法进行了实验研究.通过实验,分析了激光能量和脉冲数与微光栅结构槽形和一级衍射效率之间的关系.利用光学显微镜和原子力显微镜检测分析光栅槽形,测得槽深为253nm的最佳微光栅结构,并测得其在波长为532nm的激光的一级衍射效率为6.5%.结果表明:在激光能量为1150μJ时,适当增加曝光脉冲数有利于提高制备光栅的槽深和一级衍射效率.
- 张恒周云周雷陈林森
- 关键词：纳秒激光衍射效率刻蚀
- 用纳秒激光在镜面不锈钢表面刻蚀微光栅结构被引量：8
- 2008年
- 研究了利用波长为532 nm的激光二极管抽运全固态激光器(DPSSL),采用双光束干涉手段,在镜面不锈钢表面直接刻蚀形成微光栅结构(MGS)的方法。通过实验,分析了激光功率、光束口径、双光束干涉角与光栅槽深和占宽比之间的关系。利用光学显微镜和原子力显微镜(AFM)对实验结果的检测分析表明,在激光功率为45 mW,双光束干涉角为20°的条件下,得到光栅周期为1.34μm,槽深为300 nm的最佳微光栅结构。同时,在适当激光功率下,增加光栅周期,增加光束口径都能提高光栅槽深。
- 张恒周云方宗豹陈林森
- 关键词：激光技术纳秒激光刻蚀
