刘政
- 作品数：11 被引量：2H指数：1
- 供职机构：辽宁工业大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：金属学及工艺理学一般工业技术电子电信更多>>
- 接触型超声振动化学机械抛光作用机理研究
- 超声抛光技术是一种有效提高硅片表面质量的新型抛光技术。与传统化学机械抛光技术相比，超声抛光技术在抛光质量和抛光效率上都有较大优势。由于影响超声抛光技术的因素很多，其微观抛光过程十分复杂，国内外学者关于超声抛光机理的研究尚...
- 刘政
- 关键词：超声振动化学机械抛光硅片
- 文献传递
- 基于喷泉码编码的防窃听编码方法
- 本发明公开了一种基于喷泉码编码的防窃听编码方法，包括：发送端接收接收端广播发送的随机二进制码；该发送端确定度为1矩阵p<Sub>1</Sub>；根据转移喷泉编码分布函数确定矩阵P<Sub>2</Sub>；根据矩阵p<Su...
- 牛芳琳刘政孟云霄韩斌
- 喷泉码与无线网络防窃听技术研究
- 近年来,人们对于信息无线传输的需求日益变强。由于无线通信的广播特性,数据一旦被拦截或是被非法利用可能会对无线通信造成巨大的后果,因此无线通信的安全目前变得格外重要。而传统的无线安全通信方案大多是在合法通信者之间通过增加冗...
- 刘政
- 关键词：物理层无线网络信息安全喷泉码防窃听
- 文献传递
- 液体对圆筒形压电振子振动的影响
- 流体振动抛光是利用振子超声振动所提供的能量,使圆筒内液体分子以及其中的微小颗粒在振动的驱使下冲击工件表面,从而达到去除材料提高工件表面质量的目的.文章针对流体振动抛光方法,设计并制作了一种圆筒形压电振子,利用ANSYS有...
- 徐建立刘政何勍
- 关键词：抛光设备有限元分析
- 文献传递
- 液体对圆筒形压电振子振动的影响被引量：1
- 2013年
- 针对流体振动抛光方法,设计并制作了一种圆筒形压电振子,利用ANSYS有限元软件确定了振子的结构尺寸、工作模态和固有频率。该振子外径为62mm,高度为15mm,能够实现B0,6和B0,10两种面内弯曲工作模态,实验测得振子在B0,6和B0,10工作模态下的固有频率分别为38.4kHz和93.2kHz。针对流体振动抛光方法,实验着重研究了液体对振子振动的影响,分析了液体的液面高度、抛光液的浓度等因素对振子谐振频率和振幅的影响。
- 徐建立刘政何勍
- 关键词：超声振动行波抛光液
- 盘形超声压电振子的抛光实验研究
- 2013年
- 应用盘形超声压电振子在抛光实验装置上对硅片进行了化学机械抛光,比较了附加行波超声振动的化学机械抛光与传统化学机械抛光的实际效果,实验结果表明,在相同的实验工况下,施加行波超声振动相对于不施加振动,能明显改善硅片化学机械抛光的表面质量。振子振幅的增大对改善硅片表面质量有利。
- 何勍徐俊艳刘政
- 关键词：行波超声振动硅片化学机械抛光
- 一种网络层喷泉码与信道联合编码的度分布函数设计方法
- 本发明公开了一种网络层喷泉码与信道联合编码的度分布函数设计方法。该方法包括：将信道删除概率和MP联合译码的纠错概率引入EISD度分布函数中，通过删除信道与纠错概率影响函数的表达式和Per‑Pc‑EISD度分布函数的表达式...
- 牛芳琳刘政孟云霄龚瑞雪
- 文献传递
- 行波超声振动抛光实验装置的研究被引量：1
- 2013年
- 为研究环形行波压电振子的硅片超声复合抛光工艺,改装现有钻床,研制出一种可控转速的超声抛光实验装置,该装置主轴的转速通过变频器可在0～3 150r/min范围内调节,从而实现不同线速度的抛光需求。实验装置将USR30超声电机振子改造为具有装夹圆柄和抛光垫的抛光压电振子。改造后的振子的实际模态测试表明,装夹圆柄的安装并未改变原有超声电机振子的驱动频率。抛光实验过程中,抛光振子(含抛光垫)只做微观超声振动,而振子齿面下方的硅片做宏观的旋转运动,抛光垫与硅片之间注入一定流速的抛光液实现抛光。吸盘与动密封装置相联并通过主轴实现正(反)向旋转。为了研究压力对抛光表面质量的影响,该超声振动实验装置专门设计了重力加压装置,实现抛光振子与硅片之间的接触压力调节。该实验装置可完成改变抛光转速、抛光压力、抛光时振子表面振幅的大小及抛光液流量粒度等参数在不同工况下的抛光实验。
- 徐俊艳陈晔刘政何勍
- 关键词：行波超声振动化学机械抛光硅片
- 基于喷泉码编码的防窃听编码方法
- 本发明公开了一种基于喷泉码编码的防窃听编码方法，包括：发送端接收接收端广播发送的随机二进制码；该发送端确定度为1矩阵p<Sub>1</Sub>；根据转移喷泉编码分布函数确定矩阵P<Sub>2</Sub>；根据矩阵p<Su...
- 牛芳琳刘政孟云霄韩斌
- 文献传递
- 双弯曲行波超声抛光振子
- 一种双弯曲行波超声抛光振子，它由金属连接环和压电陶瓷环构成，其特殊之处是，所述的压电陶瓷环有三组，每组包含二片压电陶瓷环，三组压电陶瓷环分别用二个金属连接环联接，在左侧组和右侧组的二片压电陶瓷环之间安装有引线铜片，在中间...
- 何勍刘政张浩
- 文献传递
