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裴苏

作品数：2 被引量：20H指数：1
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室更多>>
发文基金：应用光学国家重点实验室开放基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 2篇激光
  • 2篇激光直写
  • 2篇激光直写光刻
  • 2篇光刻
  • 1篇离焦量
  • 1篇工艺要求

机构

  • 1篇中国科学院
  • 1篇中国科学院长...

作者

  • 2篇李凤友
  • 2篇张殿文
  • 2篇赵晶丽
  • 2篇卢振武
  • 2篇裴苏
  • 2篇谢永军

传媒

  • 1篇中国激光
  • 1篇第十一届全国...

年份

  • 1篇2002
  • 1篇2001
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
离焦激光直写光刻工艺研究被引量：20
2002年
采用理论计算和光线追迹分析了激光直写光刻中离焦对写入焦斑光场分布的影响;使用四轴激光直写设备开展了离焦激光直写光刻工艺实验,实验和理论计算及光线追迹的结果吻合得很好。利用离焦激光直写光刻方法制作了光栅和分划版,测得实验结果达到工艺要求。
李凤友卢振武谢永军张殿文裴苏赵晶丽
关键词：激光直写光刻
激光直写中离焦写入的研究
本文从理论计算和光线追迹法对激光直写光刻工艺中离焦对线条影响进行了分析研究;使用激光直写设备开展了离焦写入工艺实验,得以写入线条宽度与离焦量的关系实验曲线;实验和理论计算及光线追迹的结果吻合很好,利用离焦写入方法的在光刻...
卢振武李凤友谢永军张殿文裴苏赵晶丽
关键词：激光直写光刻离焦量工艺要求
文献传递
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