王卫国
- 作品数：5 被引量：38H指数：4
- 供职机构：大连理工大学等离子体物理化学实验室更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学医药卫生更多>>
- CH_4或CH_4+Ar介质阻挡放电中的离子能量和类金刚石膜制备被引量：11
- 2006年
- 实验上,利用纯CH4及CH4+Ar在几百帕量级气压下的介质阻挡放电制备类金刚石膜,研究了气压p与放电间隙d乘积(pd值)以及Ar的体积百分比RAr对膜硬度的影响.理论上,从离子与气体分子的双体碰撞出发,利用较高折合电场强度E/n(电场强度与粒子数密度之比)下离子及中性粒子速度分布的双温模型、离子在其他气体中运动时遵守的朗之万方程及离子在混合气体中运动时遵守的布兰克法则,对CH4+和Ar+离子能量进行了分析.结果表明:1)CH4介质阻挡放电中,pd值由1·862×103Pa mm降低至2·66×102Pa mm时,CH4+能量由5·4eV增加到163eV,类金刚石膜硬度由2·1GPa提高到17·6GPa;2)保持总气压p=100Pa,放电间距d=5mm不变,在CH4中加入Ar气,当RAr由20%增加至83%时,CH4+的能量由69eV增加到92eV,而Ar+能量由93eV降低至72eV.虽然CH4+能量增加有助于提高沉积膜硬度,但当RAr大于67%,高强度Ar+轰击会导致膜表面石墨化,膜硬度降低.为了验证离子能量理论模型的正确性,实验测量了H2介质阻挡放电中离子能量,测量结果与理论计算之间最大相对误差为16%.
- 刘艳红张家良王卫国李建刘东平马腾才
- 关键词：离子能量介质阻挡放电类金刚石膜
- 氢等离子体中氢原子密度定量测定及亚稳态氢分子负离子的产生与检测研究
- 分别利用阈值电离-分子束质谱技术和发射光谱技术，首次对介质阻挡放电氢等离子体中氢原子密度进行了定量研究：在低气压介质阻挡放电氢/氘等离子体中产生了高浓度长寿命的H<,2><'->/D<,2><'->离子，并对其进行了成功...
- 王卫国
- 关键词：分子束质谱发射光谱
- 氮气大气压介质阻挡放电发射光谱诊断被引量：16
- 2004年
- 用发射光谱法对氮气大气压介质阻挡放电等离子体进行了诊断,测出了N2(C3Пu-B3Пg)的337.1nm谱线强度随气体流量、电极间距、放电电压以及放电频率的变化规律.发现光强在气体流量为300mL/min或电极间距为1.5mm时有一个最大值;光强随放电电压及频率的增加而增强,但放电频率或电压增加到某一值时,光强的增强产生了突变,这时放电从丝状介质阻挡放电转变成准辉光介质阻挡放电;测得了放电电压电流波形、电压-电荷李萨如图形、时间分辨的发射光谱,发现丝状介质阻挡放电的微放电通道是随机分布独立存在的,相互不受影响;而准辉光介质阻挡放电的微放电通道之间产生叠加,并相互影响.
- 肖重发徐勇王文春王卫国朱爱民
- 关键词：介质阻挡放电微放电发射光谱谱线强度李萨如图形放电频率
- 介质阻挡放电等离子体中HO_2自由基的红外光腔衰荡光谱原位诊断被引量：6
- 2007年
- 建立了一套以可调谐半导体激光器做光源的连续波光腔衰荡光谱装置,简单介绍了连续波光腔衰荡光谱技术与脉冲光腔衰荡光谱技术的区别。将连续波光腔衰荡光谱技术与介质阻挡放电等离子体技术相结合,对等离子体中的HO2自由基进行了原位定量测量,同时考察了HO2自由基数密度随放电电压和体系中氧气含量变化情况。实验结果表明:随着放电电压和体系中氧气含量的增加而增加的HO2自由基数密度分别出现极大值。
- 刘忠伟徐勇杨学锋赵国利王卫国朱爱民
- 关键词：红外光谱HO2
- 介质阻挡放电氢等离子体中氢原子浓度的光谱诊断被引量：8
- 2006年
- 在化学气相沉积功能材料等离子体刻蚀及表面处理等过程中,氢原子起着非常重要的作用。文章详细论述了利用发射光谱技术诊断氢原子的基本原理,以氩气作为内标对介质阻挡放电氢等离子体中的氢原子浓度进行了定量的诊断,研究了氢原子浓度、氢分子解离率随气压的变化规律。发现在0.32到5.1kPa气压范围内,氢分子的解离率由5.2%下降到0.089%,相应的氢原子浓度由4.9×1015.cm-3下降到1.3×1015.cm-3。文章还研究了氢Balmer系以及氩(750.4nm)谱线的发射强度随气压、放电电压、频率等放电参数的变化规律。
- 王卫国徐勇刘忠伟朱爱民王文春
- 关键词：内标法发射光谱介质阻挡放电等离子体诊断
