沈宝宏
- 作品数：10 被引量：41H指数：4
- 供职机构：大连理工大学更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金大连市科技计划项目更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程更多>>
- 面向IC制造的硅片机器人传输系统综述被引量：29
- 2007年
- 介绍了面向集成电路制造业的硅片机器人传输系统,综述了其主要组成部分——硅片机器人和预对准装置——的工作原理及国内外研究成果.就直接驱动技术、磁性流体密封技术、磁力传动技术、硅片机器人轨迹规划与控制技术、校准技术以及夹持技术,对硅片机器人传输系统的关键技术进行了探讨.
- 丛明杜宇沈宝宏金立刚
- 关键词：集成电路
- 二维数控机构的设计与应用
- 2006年
- 叙述了一种二维数控机构,即在空间二维上同时实现旋转运动的机构技术与对应的控制技术。分析了该机构的结构方式、工作机理;以及控制方式的选用、程序设计。展示了该机构与控制技术在喷水装置中的应用。该技术对于同类的运动实现具有重要的参考意义。
- 丛明沈宝宏杜宇金立刚
- 关键词：数控步进电机单片机
- 一种自动割草机器人
- 本发明属于机器人应用技术领域，涉及一种户外移动机器人，特别涉及一种能自主执行草坪修剪任务的自动割草机器人。其特征是该自动割草机器人包括机器人车体、割草机构、控制系统和传感单元等部分。控制系统通过自主识别或下载的方式获得割...
- 丛明金立刚房波杜宇沈宝宏
- 文献传递
- 一种净化机器人
- 本发明涉及一种新型工业用机器人，主要是指在集成电路制造中不同加工模块之间实现硅片传输的一种净化机器人。其特征是它包括机座I、R同直线伸缩机构III、θ向旋转机构II、Z向升降机构II和末端执行器IV。其各向机构的驱动部件...
- 丛明沈宝宏于旭杜宇金立刚
- 文献传递
- 一种硅片预对准装置
- 本发明属于集成电路装备制造技术领域，特别涉及一种硅片预对准装置及其方法。该预对准装置包括：水平对心单元，TCD检测单元，投光单元，承片台单元和数据转化及控制单元。其中水平对心单元用于调整硅片的Y向偏移；TCD检测单元用于...
- 丛明杜宇张传思孔祥吉沈宝宏金立刚
- 文献传递
- 一种硅片预对准装置
- 本发明属于集成电路装备制造技术领域，特别涉及一种硅片预对准装置及其方法。该预对准装置包括：水平对心单元，TCD检测单元，投光单元，承片台单元和数据转化及控制单元。其中水平对心单元用于调整硅片的Y向偏移；TCD检测单元用于...
- 丛明杜宇张传思孔祥吉沈宝宏金立刚
- 文献传递
- 面向IC制造的净化机器人被引量：11
- 2007年
- 针对集成电路制造中环境洁净度与硅片传输任务的需求,提出了一种由径向直线伸缩机构以及旋转、升降运动模块组成的新型三自由度R-θ型净化机器人。该净化机器人采用两组行星轮系组合来实现关键的径向直线伸缩运动,并合理配置密封来实现上述需求。通过运动分析给出了实现径向直线伸缩运动的必要条件,进行了净化机器人的运动学与动力学分析。同时采用交流伺服电机作为驱动元件,基于MPC02运动控制卡作为上位控制单元构建了开放式控制系统。实验研究表明该净化机器人具有较高的速度、重复定位精度与应用洁净度。
- 丛明沈宝宏于旭
- 关键词：运动学分析动力学分析运动控制卡
- 一种净化机器人
- 本发明涉及一种新型工业用机器人，主要是指在集成电路制造中不同加工模块之间实现硅片传输的一种净化机器人。其特征是它包括机座I、R向直线伸缩机构III、θ向旋转机构II、Z向升降机构II和末端执行器IV。其各向机构的驱动部件...
- 丛明沈宝宏于旭杜宇金立刚
- 文献传递
- 硅片传输单元洁净系统的研制被引量：7
- 2006年
- 在集成电路制造的硅片传输过程中,硅片传输机器人等机械设备的运动会产生尘埃粒子污染硅片。为解决这一问题,设计并研制了硅片传输单元的洁净系统,分析了该洁净系统的设计方案和结构设计,计算了它的送回风管直径,并用计算流体力学的方法,对洁净系统内部的硅片传输机器人区域进行了流场的模拟分析。该洁净系统已达到设计要求。
- 丛明杜宇沈宝宏
- 面向IC制造的净化机器人的研究与设计
- 集成电路(IC)是电子信息产业的核心，是推动国民经济和社会信息化发展的高新技术之一。应用于IC的制造装备是IC产业的发展支柱，而更高性能的IC制造装备的研制又在整个IC产业中扮演着技术先导的角色。净化机器人是IC制造装备...
- 沈宝宏
- 关键词：集成电路动力学运动学运动控制卡
- 文献传递
