武欣
- 作品数：12 被引量：10H指数：3
- 供职机构：上海大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家科技重大专项上海市教育委员会创新基金更多>>
- 相关领域：机械工程理学一般工业技术更多>>
- 平面光学元件平面度动态干涉拼接测量被引量：3
- 2016年
- 开展了基于动态干涉仪的平面光学元件平面度干涉拼接测量，并研究了影响测量和拼接的主要误差。用二级减振的方法来抑制环境中振动的影响；根据允许的变化条纹数来控制二维移动平台导轨精度。建立了以ZYGO公司的DynaFiz干涉仪为子口径采集仪器的干涉拼接系统，开展了单口径平面度测量及拼接实验，完成了200mm×300mm平面光学元件的平面度测试，并与大口径干涉仪所测试的全口径测量数据进行比对，拼接结果的10次实验均方差为0．001λ（λ=632．8nm）。
- 张小强武欣王伟荣于瀛洁
- 关键词：计量学平面度平面光学元件
- 超精密磨削大口径光学元件平面度在位检测装置及方法
- 本发明公开一种超精密磨削大口径光学元件平面度在位检测装置及方法，包含计算机、动态干涉仪、主测量台架、x方向导轨、z方向导轨、台架导轨、隔离装置。本发明将大口径光学元件平面度误差的检测装置与磨床相结合，实现光学元件在位检测...
- 武欣于瀛洁王伟荣忻晓蔚张小强
- 文献传递
- 大口径光学元件中低频面形快速检测装置和方法
- 本发明公开一种大口径光学元件中低频面形快速检测装置和方法，包含数控机箱、主控计算机、测量龙门架、动态干涉仪、干涉仪精调机构、工作平台、气浮导轨。动态干涉仪安装在干涉仪精调机构上，干涉仪精调机构安装于测量龙门架的横梁上，测...
- 武欣于瀛洁王伟荣张小强许海峰
- 文献传递
- 大口径光学元件动态干涉拼接测量装置及测量方法
- 本发明公开一种大口径光学元件动态干涉拼接测量装置及测量方法，装置包含数控机箱、主控计算机、被测件移动调整平台、动态干涉仪、干涉仪升降台、测量计算机。被测元件放置于被测件移动调整平台上，动态干涉仪安装在干涉仪升降台上，干涉...
- 武欣于瀛洁王伟荣张小强许海峰王驰
- 文献传递
- 大尺寸光学元件在位动态干涉拼接测量系统被引量：3
- 2017年
- 为了满足车间条件下大口径光学元件的高精度在位、在线检测的迫切需求,本文构建了一个适于一般环境下应用的动态干涉拼接测量实验系统。该系统由动态干涉仪、二维移动平台、控制系统及拼接软件等部分构成。应用该系统对200mm×300mm×20mm的光学元件在一般应用环境下进行了拼接测量实验,采用误差均化拼接算法进行拼接,并对拼接后的结果进行分析处理,比较拼接测量与全口径测量结果,PV值的相对误差为3.1%,RMS值的相对误差为1.6%,Power值的相对误差为2.1%。该系统为在车间环境下建立大口径光学元件在位检测建立了基础。
- 于瀛洁齐特武欣
- 关键词：光学检测子孔径拼接大口径光学元件
- 压缩传感无透镜放大全息层析重建被引量：3
- 2014年
- 采用关键基对为傅里叶小波基的压缩传感无透镜放大全息技术，研究全息层析重建问题。论述了压缩传感无透镜放大全息重建技术的基本原理；采用概率密度函数服从指数分布的采样模式，进行全息图的频域减采样，并且利用l1范数最小化开展物体重建工作；通过模拟实验和测试实验分析压缩传感无透镜放大全息技术。仿真结果显示，对于频域减采样25%的全息图，多层切平面的压缩传感重建比反衍射重建的平均质量指标提高了3倍。对两层透明样本的测试实验同样表明，压缩传感无透镜放大全息技术对频域减采样全息图重建的有效性。
- 伍小燕于瀛洁周文静刘贝贝武欣
- 关键词：全息压缩传感
- 大口径光学元件动态干涉拼接测量装置及测量方法
- 本发明公开一种大口径光学元件动态干涉拼接测量装置及测量方法，装置包含数控机箱、主控计算机、被测件移动调整平台、动态干涉仪、干涉仪升降台、测量计算机。被测元件放置于被测件移动调整平台上，动态干涉仪安装在干涉仪升降台上，干涉...
- 武欣于瀛洁王伟荣张小强许海峰王驰
- 大口径光学元件中低频面形快速检测装置和方法
- 本发明公开一种大口径光学元件中低频面形快速检测装置和方法，包含数控机箱、主控计算机、测量龙门架、动态干涉仪、干涉仪精调机构、工作平台、气浮导轨。动态干涉仪安装在干涉仪精调机构上，干涉仪精调机构安装于测量龙门架的横梁上，测...
- 武欣于瀛洁王伟荣张小强许海峰
- 文献传递
- 大尺寸光学元件在位干涉拼接检测关键技术研究
- 大尺寸平面光学元件在“激光核聚变”等大型光路系统中有大量应用,需求的元件尺寸较大,精度要求逐渐提高,对此类元件的加工和检测都提出了很高要求。现有的检测方法多为离线检测,无法满足高效率加工的需求。因此,亟需研究高精度、高效...
- 武欣
- 平面子孔径拼接的面旋转误差被引量：1
- 2013年
- 在按某一基准面进行拼接的过程中,存在着只与测量误差相关而与子孔径面形无关的误差,将其命名为面旋转误差.本文对比分析了顺序拼接和误差均化拼接中存在的面旋转误差的情况,讨论了面旋转误差对拼接的影响.给出了对抑制面旋转误差的基本想法,并论述了其可行性.
- 唐智武欣于瀛洁
- 关键词：子孔径拼接误差均化
