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朱正鹏
作品数:
3
被引量:5
H指数:1
供职机构:
北京大学
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发文基金:
北京市教委科技发展计划
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
金玉丰
北京大学
冯进军
北京真空电子技术研究所
缪旻
北京大学
瞿波
北京真空电子技术研究所
缪晻
北京大学信息科学技术学院微米纳...
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作者
3篇
朱正鹏
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冯进军
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金玉丰
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缪晻
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瞿波
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缪旻
传媒
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传感技术学报
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第八届中国微...
年份
1篇
2007
2篇
2006
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3
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微机械折叠波导慢波结构冷测特性的研究
被引量:5
2006年
在太赫兹频段,折叠波导行波管因其重要的应用价值已成为一个研究热点.介绍了折叠波导结构和折叠波导行波管,优化设计了一种560GHz行波管器件的结构尺寸,并分别用理论解析方法和软件模拟工具研究了折叠波导慢波结构的冷测特性.文章还对该类折叠波导慢波结构的微加工技术进行了初步的探讨,提出了基于ICP体硅深刻蚀、无电镀铜等组合工艺方案.
朱正鹏
缪旻
瞿波
金玉丰
冯进军
关键词:
太赫兹
真空电子技术
微机电系统
微机械折叠波导慢波结构冷测特性的研究
在太赫兹频段,折叠波导行波管因其重要的应用价值已成为一个研究热点.本文介绍了折叠波导结构和折叠波导行波管,优化设计了一种560GHz行波管器件的结构尺寸,并分别用理论解析方法和软件模拟工具研究了折叠波导慢波结构的冷测特性...
朱正鹏
缪晻
瞿波
金玉丰
冯进军
关键词:
真空电子技术
微机电系统
行波管
文献传递
基于MEMS微加工的行波管折叠波导慢波系统研究
利用微机械加工技术制造的新型毫米波和THz器件被称为微真空电子器件(μVEDs),它在众多领域具有重要的应用前景,特别是星际通信、导弹的定位及跟踪、雷达成像、地图测绘等领域。此外,先进电子材料光谱学、医疗、生物、监视等高...
朱正鹏
关键词:
折叠波导
数值仿真
微机电系统
行波管
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