您的位置： 专家智库 > >

朱剑波

作品数：2 被引量：14H指数：1
供职机构：大连理工大学电子科学与技术学院电子工程系更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇电子电信

主题

  • 2篇感器
  • 2篇传感
  • 2篇传感器
  • 1篇电阻
  • 1篇电阻温度系数
  • 1篇微流量
  • 1篇微流量传感器
  • 1篇温度传感器
  • 1篇流量传感器
  • 1篇金属薄膜
  • 1篇加热器
  • 1篇TCR

机构

  • 2篇大连理工大学

作者

  • 2篇闫卫平
  • 2篇朱剑波
  • 1篇马灵芝
  • 1篇杜立群
  • 1篇郭吉洪

传媒

  • 1篇仪器仪表学报
  • 1篇传感技术学报

年份

  • 2篇2004
共 2 条 记 录，以下是 1-2
全选 清除 导出
排序方式：
Cr金属薄膜温度传感器的研究被引量：1
2004年
采用等离子体溅射方法制备了Cr金属薄膜式温度传感器。探讨了光刻腐蚀工艺、Cr薄膜厚度及薄膜热处理温度对Cr薄膜电阻温度系数的影响。通过选择合适的制备工艺,得到了较理想的Cr金属薄膜温度传感器。
闫卫平朱剑波马灵芝郭吉洪
关键词：温度传感器电阻温度系数
金属薄膜加热器的研究被引量：13
2004年
采用射频溅射方法制备了Cr和Ni-Cr(Ni:80 % ,Cr :2 0 % )金属薄膜 ,探讨了热处理温度和时间对Cr薄膜电阻温度系数和电阻率的影响。在一定直流电压条件下 ,Ni-Cr和Cr薄膜微型加热器的加热温度可达到 10 0℃ ,且升温速率皆大于 0 5 0 C/s。通过测量微加热器的电阻温度曲线 ,表明所制备的金属薄膜式微型加热器具有较好的稳定性和重复性 ,能够满足PCR生物芯片和硅基热分布式微流量传感器的要求。
闫卫平朱剑波马灵芝杜立群
关键词：TCR微流量传感器
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0